微細(xì)電火花加工主軸部件研制及銑削工藝研究.pdf

1、隨著科技的發(fā)展，微機(jī)械、光學(xué)部件等需求不斷增加，在許多新型的微型零件中，要求有不同深度和橫截面的微槽結(jié)構(gòu)，如微機(jī)械中的滑動(dòng)槽，生物醫(yī)學(xué)和生化反應(yīng)中的微通道等。微細(xì)電火花銑削加工作為一種新型的加工方法可以很好地完成微細(xì)結(jié)構(gòu)的加工，具有極好的發(fā)展前景。因此，本課題對(duì)微細(xì)電火花銑削加工機(jī)床及銑削工藝的研究具有重要意義。
　　作為微細(xì)電火花銑削加工機(jī)床的核心部件，旋轉(zhuǎn)主軸對(duì)加工精度具有決定性作用。本文提出了多種旋轉(zhuǎn)主軸的結(jié)構(gòu)形式，經(jīng)過分析

2、比較，確定采用獨(dú)立上電模塊的方案，即進(jìn)行后端上電，旋轉(zhuǎn)軸采用NSK高速旋轉(zhuǎn)主軸。旋轉(zhuǎn)主軸部件既可以保證上電的穩(wěn)定可靠，又可以提高系統(tǒng)的安全性。
　　微細(xì)電火花銑削加工作為精密微細(xì)加工技術(shù)的一種，最基本的要求是機(jī)床具有較好的穩(wěn)定性。通過查閱大量文獻(xiàn)，首先對(duì)機(jī)床的穩(wěn)定性展開了研究，提出了提高機(jī)床穩(wěn)定性的措施以及本課題中微細(xì)電火花銑削加工機(jī)床所采取的提高穩(wěn)定性的措施，通過物理模型計(jì)算分析，證明了機(jī)床能夠穩(wěn)定地工作，可以作為微細(xì)電火花銑削

3、加工試驗(yàn)平臺(tái)。
　　在機(jī)床上進(jìn)行了微細(xì)電火花銑削加工工藝的研究，分析了影響銑削加工的因素，并對(duì)關(guān)鍵的影響因素進(jìn)行了探索性試驗(yàn)研究，通過大量工藝試驗(yàn)研究了RC、TC、TR三種電源模式下不同脈沖電源參數(shù)對(duì)加工效率、電極損耗的影響。針對(duì)銑削加工工藝，著重研究了電極制作、電極損耗與補(bǔ)償、銑削加工路徑規(guī)劃等方面，經(jīng)過理論分析和試驗(yàn)探索，找到了穩(wěn)定制作細(xì)長(zhǎng)電極的工藝流程及工藝參數(shù)，在定長(zhǎng)補(bǔ)償法的基礎(chǔ)上提出了新的電極補(bǔ)償策略并通過試驗(yàn)驗(yàn)證了其合