激光干涉刻蝕太陽能電池減反射微結構的研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、針對目前太陽能電池的光電轉(zhuǎn)換效率低下，對入射光不能進行有效的吸收，本文采用了激光干涉的方法在單晶硅表面進行刻蝕制造微結構，來達到減少入射光的損失，增加光的吸收。
　　本文使用的是四光束激光干涉，通過四束激光在特定區(qū)域干涉，干涉區(qū)域內(nèi)的場強重新分布，形成周期性的光強分布。在單晶硅片上刻蝕出周期性的微結構，并用微腔理論對其減反射進行分析。
　　制備出的微結構周期為14.2μm，和未制備微結構的硅片相比，反射率有大幅的降低，在40

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