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文檔簡介
1、垂直腔面發(fā)射激光器作為新結構半導體激光器，具有表面光輸出、易于二維集成，圓形對稱光束、與光纖耦合效率高以及功率損耗低、使用壽命長等優(yōu)點，在光互聯(lián)、光通信以及大規(guī)模激光顯示方面等方面得到了廣泛應用。
本論文細致闡述了VCSEL的基本原理及器件光束質量的因素。針對傳統(tǒng)VCSEL圓形電極結構，具有電流注入不均勻以及光束質量差的問題，本文提出了一種新型電極結構的VCSEL設計方法，即放射式電極結構VCSEL，從而提高電流注入的均勻性和
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