垂直腔面發(fā)射紅外激光器的研究.pdf

1、分類號(hào)：密級(jí)：UDC：編號(hào)：垂直腔面發(fā)射紅外激光器的研究VerticalCavitySurfaceEmittingInfraredLaserResearch學(xué)位授予單位及代碼：長(zhǎng)春理工大學(xué)（10186）工程領(lǐng)域名稱及代碼：機(jī)械工程(085201)研究方向：精密、超精密加工、檢測(cè)及裝備申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別：碩士指導(dǎo)教師：王景奕研究生：韓崎峰論文起止時(shí)間：2013.09—2015.06摘要論文題目為垂直腔面發(fā)射紅外激光器的研究，主要是設(shè)計(jì)出了波長(zhǎng)為

2、980nm的垂直腔面發(fā)射激光器。VCSEL具有體積小、發(fā)散角小、閥值電流低、可實(shí)現(xiàn)光纖耦合、利于二維集成等特點(diǎn)。激光器具有的上述特點(diǎn)以及其獨(dú)特的出光方式，使得該器件在實(shí)際的應(yīng)用中具有很好的發(fā)展前景。在論文中，主要是通過(guò)深入的理論分析來(lái)研究垂直腔面發(fā)射紅外激光器的原理以及具體的制作流程，具體內(nèi)容如下：首先，在反射鏡的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)中，采用的是分布布拉格反射鏡作為垂直腔面發(fā)射激光器的反射鏡，這種反射鏡可以使反射率達(dá)到99%以上。在光腔的設(shè)計(jì)中，主

3、要是設(shè)計(jì)光腔的長(zhǎng)度以及在有源區(qū)中采用了多量子結(jié)構(gòu)。氧化限制層的設(shè)計(jì)中，首先是對(duì)限制層的結(jié)構(gòu)進(jìn)行分析，然后詳細(xì)地闡述了該層的作用。其次，在第三章中主要闡述了制作的工藝流程，工藝流程主要分為：濕法腐蝕工藝、氧化工藝以及歐姆接觸。此外，在外延生長(zhǎng)的過(guò)程中，主要是采用了分子束外延技術(shù)的方法來(lái)完成生長(zhǎng)。最后，對(duì)研制出的激光器進(jìn)行測(cè)試，在測(cè)試過(guò)程中，主要是通過(guò)有限元對(duì)激光器進(jìn)行熱分析以及對(duì)激光器的光電特性進(jìn)行測(cè)試。關(guān)鍵字：分布布拉格反射鏡；量子阱；