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1、目錄摘要1Abstract2第一章緒論311論文的研究背景及意義312半導(dǎo)體與MES的發(fā)展歷史及現(xiàn)狀研究413論文的主要內(nèi)容與結(jié)構(gòu)7第二章芯片廠MES的運(yùn)用綜述及發(fā)展921芯片廠生產(chǎn)線的特點(diǎn)一922MES概j蒼923芯片廠MES的發(fā)展與優(yōu)化1324本章小結(jié)14第三章針對(duì)工藝制程的發(fā)展與優(yōu)化1531MEG中的制程管理與存在問(wèn)題1532先進(jìn)制程控制(APC)1733針對(duì)光刻工藝制程控制的優(yōu)化1934針對(duì)擴(kuò)散爐管工藝制程控制的優(yōu)化2235本章
2、小結(jié)26第四章針對(duì)設(shè)備管理的發(fā)展與優(yōu)化2741MEG中的設(shè)備管理2742設(shè)備的保養(yǎng)維護(hù)及存在問(wèn)題2943針對(duì)設(shè)備保養(yǎng)維護(hù)的優(yōu)化3l44本章小結(jié)38第五章針對(duì)工藝數(shù)據(jù)采集分析的發(fā)展與優(yōu)化3951MEG中的工藝數(shù)據(jù)采集與存在問(wèn)題3952針對(duì)機(jī)臺(tái)數(shù)據(jù)的采集與分析的優(yōu)化4353本章小結(jié)46第六章總結(jié)與展望48參考文獻(xiàn)50致謝52AbstractWiththefastdevelopmentofsemiconductorindustrysemico
3、nductorproductsbecomemorediverseandthecorrespondingprocessbecomesmoresophisticatedandcomplexAcomprehensive，efficientandconvenientManufacturingExecutionSystem(MES)isespeciallyimportantfordeliveringhigh—qualityproductsonti
4、me，keepinghighthroughputandyieldaswellasreducingthecostofproduction1nthispaperasacoresystemforsemiconductormanufacturingMESwillbeintroducedⅣ匝Ssystemprovidesmainfunctionssuchastheproductionprocesscontrolandsupervision，the
5、managementofthemachine，theproductyieldcontr01ThenconsideringthestatusofMESdevelopmentthefutureMESdevelopmentdirectionandoptimizationisproposedApplyingtheMES，theadvancedprocesscontrol(APC)usedintheCMP，lithographyandfurnac
6、eprocessisstudied；themanagementoftheexpensivemachinetoolsespeciallythepreventivemaintenancesystemiSstudied；thedatacollectionandanalysisfunctionofsemiconductorprocessesiSstudiedwhichhelpstofindthedefectassoonaspossibleThe
7、FaultDetectionandClassification(FDC)iSintroduced，whichaimstesolvetheinsu娟cientdataandanalysislagissueofthedatacollectionandanalysisAlsotheoptimizationofFDCiSstudiedKeywords：ManufacturingExecutionSystem，ProcessControl，Pre
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