多晶硅表面缺陷識(shí)別及軟件檢測(cè)系統(tǒng)設(shè)計(jì)與開(kāi)發(fā).pdf

1、作為清潔無(wú)污染的優(yōu)質(zhì)能源，太陽(yáng)能在化石燃料日漸減少、帶來(lái)的環(huán)境問(wèn)題凸顯的情況下，已經(jīng)成為新能源的重要組成部分。太陽(yáng)能發(fā)電技術(shù)，是利用太陽(yáng)能的重要形式，多晶硅太陽(yáng)能電池以工藝相對(duì)簡(jiǎn)單，生產(chǎn)成本低的優(yōu)勢(shì)，被廣泛采用于光伏制造業(yè)中。
　　質(zhì)量管理是企業(yè)生產(chǎn)的重要環(huán)節(jié)。為保證品質(zhì)與降低成本，需要對(duì)鍍減反射膜PECVD工藝下料進(jìn)行檢測(cè)。多晶硅太陽(yáng)能、電池表面紋理特征復(fù)雜，質(zhì)量檢測(cè)一直依賴(lài)人工，效率低、重復(fù)檢出能力差。
　　本文從工業(yè)工

2、程專(zhuān)業(yè)的質(zhì)量管理角度出發(fā)，研究了多晶硅表面質(zhì)量管理的信息化技術(shù)，基于機(jī)器視覺(jué)和SVM，設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)了的太陽(yáng)能多晶硅表面缺陷識(shí)別及軟件檢測(cè)系統(tǒng)，具有自動(dòng)化、分類(lèi)準(zhǔn)確等優(yōu)點(diǎn)，具有理論及使用價(jià)值。
　　本文主要工作有在以下幾個(gè)方面：
　?。?）根據(jù)某太陽(yáng)能多晶硅電池生產(chǎn)企業(yè)的實(shí)際問(wèn)題，研究了常見(jiàn)的太陽(yáng)能多晶硅片表面缺陷，對(duì)缺陷進(jìn)行了歸類(lèi)，與成因分析。結(jié)合企業(yè)實(shí)際需求，通過(guò)利用機(jī)器視覺(jué)和模支持向量機(jī)，結(jié)合圖形圖像分析與特征提取方法，提出

3、了自動(dòng)化檢測(cè)系統(tǒng)總體設(shè)計(jì)方案，提出了檢測(cè)系統(tǒng)軟件的框架、檢測(cè)流程及工作原理，實(shí)現(xiàn)了多晶硅片質(zhì)量管理與檢測(cè)的自動(dòng)化、信息化。
　?。?）針對(duì)多晶硅片檢測(cè)的難點(diǎn)，提出利用邊緣擬合進(jìn)行硅片區(qū)域精確定位，克服隨機(jī)上料的問(wèn)題，硅片的精確定位，保證了后續(xù)檢測(cè)數(shù)據(jù)來(lái)源的可靠性，提高了分類(lèi)正確率；通過(guò)色彩空間變換，降低了顏色檢驗(yàn)的維數(shù)；在對(duì)斑點(diǎn)檢測(cè)中，選取與硅片自身紋理無(wú)關(guān)的飽和度通道進(jìn)行檢測(cè)，克服多晶硅片自身紋理干擾的難點(diǎn)。
　?。?）針