LC無(wú)源濕度傳感器研究及實(shí)現(xiàn).pdf

1、濕度傳感器屬于十分重要的一類(lèi)傳感器,應(yīng)用非常普遍,比如氣象、工農(nóng)業(yè)生產(chǎn)、測(cè)量測(cè)控以及儀器設(shè)備保護(hù)等。根據(jù)經(jīng)典的 LC并聯(lián)諧振回路,本文介紹了一種無(wú)源的 LC濕度傳感器,相對(duì)濕度的變化可引起電容值的變化,傳感器的諧振頻率會(huì)相應(yīng)地隨之改變。通過(guò)使用無(wú)線(xiàn)線(xiàn)圈與阻抗分析儀相連檢測(cè)濕度傳感器諧振頻率的變化,能夠間接地得到相對(duì)濕度的變化。
　　文中介紹了LC無(wú)源濕度傳感器的三種實(shí)現(xiàn)結(jié)構(gòu),并在MATLAB和HFSS中分別進(jìn)行了建模仿真。第一種是

2、由平面叉指電容和圍繞在電容周?chē)钠矫媛菪姼薪M成的并聯(lián)回路。由于電容和電感的另一端必須在電路板的背面相連,其結(jié)構(gòu)較復(fù)雜,制造的工藝流程也相應(yīng)增加。第二種 LC無(wú)源濕度傳感器由平面叉指電容和旁置的平面螺旋電感形成并聯(lián)回路,在結(jié)構(gòu)和實(shí)現(xiàn)工藝上都較第一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,只需單層金屬的電路板即可。在完成仿真的基礎(chǔ)上,構(gòu)建了測(cè)試平臺(tái),進(jìn)行了傳感器的測(cè)試,分析了測(cè)試結(jié)果,傳感器的諧振頻率隨相對(duì)濕度的變化率約為10％,并分析了可能引起誤差的因素。第三種結(jié)構(gòu)