抗激光損傷薄膜的制備與性質(zhì)研究.pdf

1、本實(shí)驗(yàn)中，通過嘗試不同的TiO2溶液以及Ta2O5溶液的配制比例，最終配制出穩(wěn)定性好且涂膜效果良好的溶液。在制備薄膜的過程中，配制溶液，涂制薄膜，以及薄膜的熱處理等過程均對薄膜的光學(xué)性能及激光損傷閾值有著一定的影響。對此進(jìn)行了探索研究，尋找合適的工藝條件來解決這些問題。
　　在研究過程中，采用了多種方法對制備所得薄膜樣品的性能進(jìn)行測試表征，綜合評價(jià)分析了薄膜樣品的性能特點(diǎn)。
　　通過測試和表征，得出以下結(jié)論：實(shí)驗(yàn)中涂制薄膜的

2、溶液需一定的陳化時(shí)間，TiO2溶液陳化約7天效果較佳，Ta2O5溶液則需要陳化20天左右。在涂制薄膜的過程中，需要對實(shí)驗(yàn)所處環(huán)境中的溫度和濕度進(jìn)行控制。室溫為20℃左右，濕度低于35％，并且溫度與濕度的控制對于涂制 Ta2O5薄膜的作用效果尤為明顯。同時(shí)，采用旋涂法涂制的薄膜容易出現(xiàn)輻射狀條紋，而采用提拉法涂制薄膜，則可以有效的減輕或者避免薄膜出現(xiàn)輻射狀條紋。
　　在對薄膜樣品的熱處理過程中，發(fā)現(xiàn)緩慢升溫可以有效避免薄膜開裂，并且