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文檔簡介
1、碳材料和硅材料是同族元素，有相似的物理和化學(xué)性質(zhì)，而且環(huán)保、來源豐富，用碳部分代替硅做光伏材料是可行的。本文用磁控濺射方法把摻鈀的碳膜鍍到有自然氧化層的硅片上，測試、分析了碳膜的相關(guān)物理性質(zhì)和光伏效果。主要研究結(jié)果如下：
通過前期實(shí)驗(yàn)探索得知摻鈀碳膜具有最好光伏效果的制備條件是：壓強(qiáng)4Pa、沉積時(shí)間1h、氣流量30sccm、功率65W、溫度350℃。
不同壓強(qiáng)下制備的碳膜都比較致密，碳膜的平均顆粒尺寸小于30nm，且
2、5Pa時(shí)尺寸最大。在300nm-900nm（1.38~4.13eV）光譜范圍內(nèi)透射率達(dá)到70％以上，吸收光譜圖吸收率大概為~104cm-1，這段范圍內(nèi)的波長在太陽能光譜中占有絕大部分能量。在可見光及更長波長范圍內(nèi)，壓強(qiáng)為4Pa時(shí)光譜吸收系數(shù)最好，其次是3Pa和5Pa，這與它們的透射光譜恰好相反。
利用吸收光譜圖和Tauc公式計(jì)算碳膜光學(xué)的帶隙，若以非晶體形式計(jì)算，3Pa、4Pa、5Pa時(shí)的碳膜光學(xué)帶隙分別為1.25eV、0.7
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