測(cè)量型顯微CT系統(tǒng)的定值方法.pdf

1、測(cè)量型CT系統(tǒng)作為一種新型的坐標(biāo)測(cè)量技術(shù)在近年來(lái)逐步受到人們的認(rèn)可，國(guó)內(nèi)外的諸多科研機(jī)構(gòu)對(duì)其也在持續(xù)進(jìn)行相關(guān)的研究，并取得了一定成果。由于測(cè)量型CT系統(tǒng)多具有X射線源、機(jī)械運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)、平板探測(cè)器、掃描數(shù)據(jù)重建模塊等多種組成部分，這就導(dǎo)致了其測(cè)量誤差來(lái)源極為復(fù)雜。顯微CT在平板探測(cè)器的基礎(chǔ)上，新增了光耦探測(cè)器單元，提高了CT系統(tǒng)的空間分辨力，同時(shí)擴(kuò)大了CT系統(tǒng)的測(cè)量范圍，使其能夠?qū)Τ叽鐝奈⒚琢考?jí)到百微米量級(jí)的樣品進(jìn)行幾何量測(cè)量。但由于其包含

2、了閃爍體、顯微物鏡、管鏡及CCD等組件，結(jié)構(gòu)相較于平板探測(cè)器更為復(fù)雜，使得測(cè)量誤差來(lái)源范圍進(jìn)一步擴(kuò)大。這使得其測(cè)量的準(zhǔn)確性的提升以及測(cè)量不確定度的量值溯源變得尤為困難。本文針對(duì)顯微CT的計(jì)量特性制訂了一套校準(zhǔn)方案，設(shè)計(jì)了可用于校準(zhǔn)顯微CT探測(cè)形狀誤差及探測(cè)尺寸誤差的微球標(biāo)準(zhǔn)器以及可用于校準(zhǔn)顯微CT探測(cè)形狀誤差及長(zhǎng)度測(cè)量誤差的微型球板標(biāo)準(zhǔn)器和微型孔板標(biāo)準(zhǔn)器，使用微納坐標(biāo)測(cè)量機(jī)、圓度儀與計(jì)量型掃描電子顯微鏡對(duì)其進(jìn)行定值，然后用其對(duì)顯微CT的