部分相干干涉顯微鏡的設(shè)計(jì)與實(shí)驗(yàn)研究.pdf

1、將部分相干光干涉技術(shù)與顯微成像技術(shù)相結(jié)合的部分相干干涉顯微鏡，在微觀表面形貌測(cè)量領(lǐng)域有著不可替代的作用，與單色激光干涉測(cè)量相比，它不僅能夠解決相位不確定性問(wèn)題，又能夠通過(guò)顯微放大對(duì)表面粗糙度進(jìn)行測(cè)量，與傳統(tǒng)的接觸式測(cè)量方法相比，具有快速、非接觸、高精度等一系列優(yōu)點(diǎn)，因此多年來(lái)一直受到廣泛的關(guān)注和研究。
　　本文從部分相干光干涉原理出發(fā)，對(duì)常用的三種干涉顯微物鏡結(jié)構(gòu)形式展開(kāi)討論，給出了三種顯微干涉模型的光強(qiáng)表達(dá)式以及詳細(xì)推導(dǎo)過(guò)程。圍

2、繞干涉顯微鏡的光學(xué)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)展開(kāi)詳細(xì)論述，針對(duì)成像光路、照明光路以及光強(qiáng)匹配三個(gè)方面分別提出了設(shè)計(jì)要求及解決方案，主要包括顯微系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)選取、干涉顯微物鏡結(jié)構(gòu)形式的選擇、鏡頭的光學(xué)優(yōu)化設(shè)計(jì)和像質(zhì)評(píng)價(jià)、照明方式的選擇與設(shè)計(jì)、以及光強(qiáng)匹配問(wèn)題的考慮等幾個(gè)方面內(nèi)容。本文還針對(duì)干涉顯微鏡中的色散問(wèn)題進(jìn)行了研究，論述了色散的產(chǎn)生原因及其可能對(duì)干涉條紋造成的影響，并將數(shù)值孔徑的因素納入考慮，通過(guò)在顯微干涉模型的基礎(chǔ)上推導(dǎo)出了存在色散情況下的干涉光強(qiáng)表