一種新型噴墨打印頭的設(shè)計(jì)及制作.pdf

1、本文介紹了打印機(jī)的分類及不同類型的打印原理，并提出了一種新型噴墨打印頭的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。使用COMSOL模擬仿真軟件對結(jié)構(gòu)中的振動(dòng)板厚度以及PZT與振動(dòng)板寬度的比例進(jìn)行了優(yōu)化。新型噴墨打印頭采用的是振動(dòng)結(jié)構(gòu)與腔室一體化成型的制作工藝流程。減少了工藝過程中對于高精度對準(zhǔn)設(shè)備的依賴性，并于整體上降低了器件的制作成本。PZT壓電材料作為振動(dòng)板結(jié)構(gòu)中的動(dòng)力部件，通過壓電材料的壓電效應(yīng)將電能轉(zhuǎn)化成為機(jī)械能。振動(dòng)板采用四邊固定的類型，當(dāng)振動(dòng)板發(fā)生振動(dòng)時(shí)，

2、會(huì)使腔室的體積發(fā)生變化。配以供墨通道處的限流結(jié)構(gòu)，可使腔室中的墨水噴出腔室，從而達(dá)到噴墨的目的。
　　詳細(xì)捕述了包括PZT前驅(qū)體溶液配制在內(nèi)的噴墨頭各組成部分的各項(xiàng)工藝操作。并解決了采用溶膠-凝膠法制備PZT薄膜時(shí)出現(xiàn)的薄膜開裂與生成碳化顆粒的問題。提升了PZT壓電薄膜的性能與薄膜質(zhì)量。使用了PECVD的方式制備了氮化硅薄膜作為振動(dòng)板的組成部分。并通過對制備過程中的基體溫度、射頻功率以及氣體的流量這三個(gè)因素的調(diào)節(jié)沉積出優(yōu)質(zhì)的氮化硅