鋁膜材料在溫度場(chǎng)作用下的變形研究.pdf

1、隨著科技的發(fā)展，光學(xué)設(shè)備所需光學(xué)器件都帶有鍍膜結(jié)構(gòu)，在溫度場(chǎng)作用下，膜結(jié)構(gòu)的變形情況越來越受到重視。光學(xué)系統(tǒng)中，K9基底鋁膜反射鏡因其穩(wěn)定性及性價(jià)比優(yōu)勢(shì)，應(yīng)用最為廣泛，本文采用數(shù)字散斑相關(guān)方法，對(duì)多種溫度場(chǎng)環(huán)境下金屬銀薄膜和金屬鋁薄膜K9基底反射鏡變形問題開展了實(shí)驗(yàn)研究，結(jié)合數(shù)字散斑測(cè)試機(jī)理，進(jìn)行多次重復(fù)測(cè)試驗(yàn)證，得到金屬膜結(jié)構(gòu)均勻溫度場(chǎng)下應(yīng)變分布及變化規(guī)律。
　　考慮分析了金屬膜反射率較高和表面光潔特征，提出了一種新型制斑方法，

2、以適應(yīng)數(shù)字散斑測(cè)量方法?；诓煌瑴囟葓?chǎng)環(huán)境下金屬膜變形結(jié)果，分析解釋了溫度應(yīng)力作用下膜結(jié)構(gòu)應(yīng)變場(chǎng)分布的不均勻特征，并給出了低溫和高溫兩種條件下膜結(jié)構(gòu)最大應(yīng)變隨溫度的變化規(guī)律，得到線性和波動(dòng)兩種溫度區(qū)域特征。針對(duì)從基底上剝落后的膜結(jié)構(gòu)在溫度場(chǎng)下金屬膜變形規(guī)律開展了實(shí)驗(yàn)，得到了高溫情況下剝落膜變形規(guī)律，結(jié)合薄膜的沉積以及生長(zhǎng)過程中，因?yàn)榫Ц駞?shù)和熱膨脹系數(shù)的失配以及快凝作用所引起的組織缺陷，在薄膜內(nèi)都要產(chǎn)生一定的殘余應(yīng)力特點(diǎn)，分析了高溫下剝