半導(dǎo)體硅片企業(yè)MES系統(tǒng)研究與應(yīng)用.pdf

1、隨著國(guó)內(nèi)經(jīng)濟(jì)的不斷發(fā)展以及世界經(jīng)濟(jì)的一體化進(jìn)程的不斷加速，半導(dǎo)體硅片企業(yè)面臨的競(jìng)爭(zhēng)愈發(fā)激烈，半導(dǎo)體硅片企業(yè)只有不斷的提高自身的制造能力和適應(yīng)水平，并對(duì)客戶不斷變化的需求進(jìn)行滿足，才能夠在激烈的競(jìng)爭(zhēng)中立于不敗之地。因此，半導(dǎo)體硅片企業(yè)需要進(jìn)行MES系統(tǒng)（Manufacture Execute System制造執(zhí)行系統(tǒng)）的完整解決方案的建立，以便能夠使得企業(yè)獲得必要的發(fā)展條件，并對(duì)信息溝通和適應(yīng)能力進(jìn)行提高?？梢哉f，MES系統(tǒng)已經(jīng)受到越來越

2、多制造企業(yè)的關(guān)注，半導(dǎo)體硅片企業(yè)需要亟待建立一套符合企業(yè)特點(diǎn)的MES系統(tǒng)。
　　本文進(jìn)行MES系統(tǒng)的研究與應(yīng)用是基于半導(dǎo)體硅片企業(yè)的生產(chǎn)實(shí)際進(jìn)行的，以滿足半導(dǎo)體硅片企業(yè)的MES管理為最終目標(biāo)。本文通過分析半導(dǎo)體硅片企業(yè)對(duì)于MES系統(tǒng)要求的特殊性和必要性基礎(chǔ)上，確立了研究的具體方向和范疇。系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn)融合了當(dāng)前先進(jìn)的面向?qū)ο笤O(shè)計(jì)、J2EE技術(shù)以及統(tǒng)一建模語言技術(shù)等。本文的主要研究重點(diǎn)和工作主要包括如下內(nèi)容：
　?。?）對(duì)半

3、導(dǎo)體硅片企業(yè)生產(chǎn)流程和特點(diǎn)進(jìn)行分析，確定當(dāng)前MES系統(tǒng)存在的缺陷和不足；
　?。?）借助于統(tǒng)一建模語言技術(shù)，對(duì)半導(dǎo)體企業(yè)MES系統(tǒng)的業(yè)務(wù)模型進(jìn)行分析和建立，確定系統(tǒng)的業(yè)務(wù)環(huán)境；
　　（3）對(duì)半導(dǎo)體MES系統(tǒng)進(jìn)行功能結(jié)構(gòu)、體系結(jié)構(gòu)以及網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)，并采用逐層深入的方式對(duì)MES系統(tǒng)的主要功能模塊進(jìn)行詳細(xì)設(shè)計(jì)，建立對(duì)應(yīng)的數(shù)據(jù)模型；
　?。?）在MES系統(tǒng)的生產(chǎn)控制環(huán)節(jié)引入JBPM工作流技術(shù)，實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)控制、質(zhì)量控制以及工藝控

4、制的智能化和自動(dòng)化管理，規(guī)范生產(chǎn)流程和生產(chǎn)質(zhì)量；
　　（5）借助于J2EE技術(shù)對(duì)MES系統(tǒng)的實(shí)現(xiàn)過程進(jìn)行分析，并通過測(cè)試用例的形式分析實(shí)現(xiàn)效果。
　　通過對(duì)半導(dǎo)體企業(yè)進(jìn)行實(shí)施MES系統(tǒng)，可以完善企業(yè)對(duì)于設(shè)備、質(zhì)量、生產(chǎn)流程的監(jiān)控，并逐步形成整套的追溯工具和平臺(tái)，便于企業(yè)進(jìn)行各種信息的追溯，包括處理方法、處理結(jié)果、生產(chǎn)車間、操作人員、工序以及產(chǎn)生時(shí)間等。實(shí)施具有半導(dǎo)體企業(yè)特點(diǎn)的MES系統(tǒng)，不但能夠?qū)τ谄髽I(yè)人員進(jìn)行促進(jìn)和鞭策，而