基于缺陷特征的短路關(guān)鍵面積模型及提取算法.pdf

1、由于集成電路規(guī)模的持續(xù)增大和器件特征尺寸的持續(xù)減小，缺陷的存在對(duì)集成電路版圖的影響不斷增大。關(guān)鍵面積的概念描述了集成電路版圖設(shè)計(jì)對(duì)存在缺陷的敏感程度。近年來(lái)，關(guān)鍵面積研究已成為集成電路版圖優(yōu)化和成品率估計(jì)的核心內(nèi)容。在關(guān)鍵面積提取算法中，結(jié)合數(shù)學(xué)形態(tài)學(xué)的關(guān)鍵面積提取算法因具有時(shí)間復(fù)雜度低、精度高和應(yīng)用范圍廣等優(yōu)點(diǎn)而受到廣泛關(guān)注。本文對(duì)短路關(guān)鍵面積計(jì)算模型和提取算法進(jìn)行了深入研究，主要取得了以下研究成果：
　　1.對(duì)短路關(guān)鍵面積計(jì)算

2、模型進(jìn)行了研究。針對(duì)冗余物缺陷導(dǎo)致的短路故障，在深入研究分析缺陷特征和已有計(jì)算模型的基礎(chǔ)上，提出了一種基于缺陷特征的短路關(guān)鍵面積新模型。該模型結(jié)合數(shù)學(xué)形態(tài)學(xué)膨脹運(yùn)算的具體實(shí)現(xiàn)過(guò)程，同時(shí)考慮了缺陷和線(xiàn)網(wǎng)的特征，能夠減少短路關(guān)鍵面積的計(jì)算時(shí)間。
　　2.根據(jù)提出的新模型設(shè)計(jì)并實(shí)現(xiàn)了對(duì)應(yīng)的提取算法。算法的一般過(guò)程：首先，獲取缺陷的特征尺寸和版圖中每個(gè)線(xiàn)網(wǎng)的范圍；其次，確定缺陷特征尺寸和線(xiàn)網(wǎng)范圍的關(guān)系；最后，根據(jù)此關(guān)系和膨脹運(yùn)算的具體實(shí)現(xiàn)