應(yīng)用于液壓泵的MEMS復(fù)合傳感器的建模研究.pdf

1、隨著MEMS技術(shù)的不斷發(fā)展，微傳感器產(chǎn)業(yè)得到了快速的發(fā)展壯大。同時，人們對集成傳感器的要求也越來越高，集成式多功能傳感器也成了一種不斷增長的需求。而事實上由于MEMS技術(shù)引入，傳感器的相應(yīng)設(shè)計規(guī)則也發(fā)生了變化。這其中包括：微機械應(yīng)力的獲取規(guī)則、微小電容檢測的規(guī)則、溫度漂移的引入規(guī)則、微機械位移和固有頻率的關(guān)系、噪聲作用的順序、最終噪聲底線等。這些問題導(dǎo)致制造出來的MEMS傳感器器件指標(biāo)總是與應(yīng)用需求有一些差距，需要在研發(fā)MEMS傳感器技

2、術(shù)的同時逐步加以解決。
　　在工程機械領(lǐng)域中，對液壓泵的往往需要測量同一點的壓力，粘度和流量，這就需要一種集成式的復(fù)合傳感器。本文以該類型的傳感器為切入點，對復(fù)合傳感器器的建模進(jìn)行了深入研究。
　　針對復(fù)合傳感器的設(shè)計初期，本文采用機理建模的方式，結(jié)合工程力學(xué)和流體力學(xué)知識，得到傳感器的數(shù)學(xué)模型，并依據(jù)測量原理設(shè)計了測量電路，為后期的仿真和生產(chǎn)制造提供方案。
　　為了得到傳感器較為理想的設(shè)計參數(shù)，本文采用VHDL-AM