版權(quán)說(shuō)明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請(qǐng)進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)
文檔簡(jiǎn)介
1、廣泛應(yīng)用于IC光刻、超精密加工與測(cè)量等領(lǐng)域的高性能隔振是保障這些高端制造裝備/儀器工作性能的關(guān)鍵技術(shù)之一。由于不同裝備/儀器對(duì)環(huán)境振動(dòng)隔離的要求有所區(qū)別,隔振系統(tǒng)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)必須平衡其隔振性能需求與制造經(jīng)濟(jì)性的關(guān)系,具體需要解決以下兩大問(wèn)題:低固有頻率與高承載力矛盾的問(wèn)題、低共振點(diǎn)傳遞率與寬頻域高衰減率矛盾的問(wèn)題。為此,本論文針對(duì)三種典型精密設(shè)備的隔振需求,從隔振機(jī)構(gòu)動(dòng)力學(xué)分析、系統(tǒng)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)以及實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證三個(gè)方面展開深入研究,力求為高性能隔振
2、系統(tǒng)的設(shè)計(jì)制造提供理論依據(jù)。
針對(duì)隔振系統(tǒng)經(jīng)濟(jì)性設(shè)計(jì)這一目標(biāo),利用獨(dú)立分量分析方法、離散傅立葉變換原理,給出了微振動(dòng)在 VC振動(dòng)評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)下的快速評(píng)級(jí)方法。建立了隔振系統(tǒng)的動(dòng)力學(xué)模型,提出了被動(dòng)隔振結(jié)構(gòu)與天棚阻尼相結(jié)合的隔振策略,解決了低共振點(diǎn)傳遞率與寬頻域高衰減率矛盾的問(wèn)題?;诃h(huán)境振動(dòng)情況以及精密設(shè)備類型的不同,將隔振系統(tǒng)分為超低頻隔振(≤1Hz)、低頻隔振(≤2Hz)以及一般隔振(≤5Hz)三類,從系統(tǒng)層面為高性能隔振系統(tǒng)
3、設(shè)計(jì)提供依據(jù)。
在超低頻隔振系統(tǒng)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)中,為解決低固有頻率與高承載力的矛盾,提出了正、負(fù)剛度機(jī)構(gòu)并聯(lián)的隔振策略。研究了負(fù)剛度機(jī)構(gòu)的動(dòng)力學(xué)特性,其立方非線性引起的“跳躍現(xiàn)象”會(huì)使系統(tǒng)幅值陡增,為此,通過(guò)參數(shù)分析與優(yōu)化獲得了負(fù)剛度機(jī)構(gòu)最小非線性構(gòu)型。在此基礎(chǔ)上,設(shè)計(jì)了基于永磁負(fù)剛度與倒立擺負(fù)剛度機(jī)構(gòu)的超低頻主動(dòng)隔振系統(tǒng)結(jié)構(gòu),實(shí)現(xiàn)了多自由度超低頻隔振。樣機(jī)隔振性能測(cè)試結(jié)果表明,其結(jié)構(gòu)固有頻率約為1Hz,傳遞率在2Hz以后低于-20
4、dB,在10Hz以后低于-40dB。
在低頻隔振系統(tǒng)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)中,為克服線性剛度彈簧存在的剛度和靜變形權(quán)衡的問(wèn)題,采用空氣彈簧和擺機(jī)構(gòu)作為低頻隔振單元,通過(guò)理論建模-仿真分析-實(shí)驗(yàn)研究相結(jié)合的方法,揭示了結(jié)構(gòu)參數(shù)對(duì)其動(dòng)力學(xué)特性的影響規(guī)律,為低頻隔振系統(tǒng)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)提供了理論指導(dǎo)。建立了系統(tǒng)動(dòng)力學(xué)方程,分析了傳感器、作動(dòng)器配置的合理性。樣機(jī)性能測(cè)試結(jié)果表明,其結(jié)構(gòu)固有頻率低于2Hz,固有頻率處傳遞率小于-5dB。
在一般隔振
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無(wú)特殊說(shuō)明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請(qǐng)下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請(qǐng)聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁(yè)內(nèi)容里面會(huì)有圖紙預(yù)覽,若沒(méi)有圖紙預(yù)覽就沒(méi)有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫(kù)僅提供信息存儲(chǔ)空間,僅對(duì)用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理,對(duì)用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對(duì)任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
- 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請(qǐng)與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對(duì)自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- 并聯(lián)氣動(dòng)肌肉隔振系統(tǒng)動(dòng)力學(xué)分析及優(yōu)化.pdf
- 基于高性能低頻隔振器的動(dòng)力學(xué)與振動(dòng)控制研究.pdf
- 彈簧隔振汽機(jī)基礎(chǔ)的動(dòng)力學(xué)分析與應(yīng)用.pdf
- 柔性基礎(chǔ)多支承非線性隔振系統(tǒng)動(dòng)力學(xué)分析.pdf
- 波浪激勵(lì)下非線性柔性隔振系統(tǒng)的動(dòng)力學(xué)分析.pdf
- 小衛(wèi)星隔振減振系統(tǒng)的動(dòng)力學(xué)設(shè)計(jì).pdf
- 浮筏隔振系統(tǒng)的剛?cè)狁詈蟿?dòng)力學(xué)與振動(dòng)主動(dòng)控制.pdf
- 基于電磁式隔振器的整星隔振平臺(tái)動(dòng)力學(xué)及隔振性能分析.pdf
- 非線性隔振系統(tǒng)動(dòng)力學(xué)特性研究.pdf
- 轎車動(dòng)力總成液壓懸置系統(tǒng)隔振性能的動(dòng)力學(xué)仿真研究.pdf
- 橡膠隔振器動(dòng)力學(xué)性能及設(shè)計(jì)方法研究.pdf
- Stewart平臺(tái)參數(shù)化動(dòng)力學(xué)模型與隔振性能研究.pdf
- 基于多體動(dòng)力學(xué)汽車動(dòng)力總成隔振性能研究.pdf
- 磁懸浮浮筏主動(dòng)隔振系統(tǒng)動(dòng)力學(xué)理論模型研究.pdf
- 基于剛?cè)狁詈系恼噭?dòng)力學(xué)建模與懸架隔振性能分析.pdf
- 約束阻尼型隔振器的動(dòng)力學(xué)性能分析及優(yōu)化設(shè)計(jì).pdf
- 滾子吸振器動(dòng)力學(xué)分析及優(yōu)化設(shè)計(jì).pdf
- 主動(dòng)脈血液動(dòng)力學(xué)分析.pdf
- 變質(zhì)量sd振子動(dòng)力學(xué)分析與實(shí)驗(yàn)研究
- 汽車動(dòng)力總成懸置系統(tǒng)隔振性能分析與優(yōu)化設(shè)計(jì).pdf
評(píng)論
0/150
提交評(píng)論