帶駐留時(shí)間約束的單臂組合設(shè)備的暫態(tài)分析.pdf

1、半導(dǎo)體芯片制造產(chǎn)業(yè)是信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)群的基礎(chǔ)和核心，它是一個(gè)技術(shù)尖端及高附加值的產(chǎn)業(yè)，對推動國民經(jīng)濟(jì)的發(fā)展有重大的戰(zhàn)略意義。建立在半導(dǎo)體技術(shù)進(jìn)步基礎(chǔ)上的全球信息化、網(wǎng)絡(luò)化和知識經(jīng)濟(jì)的飛速發(fā)展，使其成為衡量國家經(jīng)濟(jì)發(fā)展和科技進(jìn)步的重要標(biāo)志，使各國都把它視為國家發(fā)展的骨干產(chǎn)業(yè)。而隨著晶圓直徑的越來越大，加工工藝也越來越復(fù)雜，越來越多的采用自動組合裝置進(jìn)行大直徑晶圓的加工。但是由于組合設(shè)備中加工模塊之間沒有緩沖空間，使得半導(dǎo)體芯片制造系統(tǒng)生產(chǎn)調(diào)度

2、的控制非常復(fù)雜。先進(jìn)的調(diào)度控制方法對于提高半導(dǎo)體芯片制造系統(tǒng)效率、降低成本、提高質(zhì)量可做出重大貢獻(xiàn)。為了對帶駐留時(shí)間約束的單臂組合設(shè)備的調(diào)度問題做進(jìn)一步研究來獲得更優(yōu)的生產(chǎn)策略，本文將深入研究它。
　　 在大部分的研究中，組合設(shè)備的調(diào)度是基于earliest調(diào)度策略的。但是，這些研究是沒有考慮活動時(shí)間波動的。然而，在實(shí)際的生產(chǎn)系統(tǒng)中，加工模塊的加工活動和機(jī)械手的活動都是隨機(jī)波動的。因此考慮活動時(shí)間波動時(shí)非常必要的。為了盡可能多的

3、消除活動時(shí)間波動對系統(tǒng)的影響，機(jī)械手的等待時(shí)間可以用來抵消活動的波動。這樣就非常有必要分析基于earliest調(diào)度策略時(shí)，機(jī)械手的等待時(shí)間是怎么分布的。因此本文研究了組合設(shè)備從初始狀態(tài)進(jìn)入到穩(wěn)態(tài)的過程即暫態(tài)過程。通過暫態(tài)過程分析我們可以得到系統(tǒng)的等待時(shí)間分布規(guī)律。從而判定基于earliest調(diào)度策略調(diào)度系統(tǒng)是否適合帶駐留時(shí)間約束和活動時(shí)間波動的單臂組合設(shè)備。這就促使我們分析帶駐留時(shí)間約束和活動時(shí)間波動的單臂組合設(shè)備的暫態(tài)過程。
　

4、　 本文首先基于Petri網(wǎng)模型描述了帶駐留時(shí)間約束的單臂組合設(shè)備的暫態(tài)以及穩(wěn)態(tài)時(shí)的系統(tǒng)的動態(tài)運(yùn)行過程。之后分析了系統(tǒng)的時(shí)間方面的一些性質(zhì)?；谶@些性質(zhì)，提出了兩種調(diào)度策略，即基于earliest調(diào)度策略和基于控制機(jī)械手等待時(shí)間的調(diào)度策略。對于調(diào)度系統(tǒng)基于earliest調(diào)度策略，系統(tǒng)運(yùn)行至穩(wěn)態(tài)后，我們給出了機(jī)械手的等待時(shí)間的分布情況，并用解析表達(dá)式給出。之后，給出了基于控制機(jī)械手等待時(shí)間的調(diào)度策略時(shí)機(jī)械手的等待時(shí)間分配方法。并且發(fā)現(xiàn)