基于MEMS技術(shù)的PCR生物芯片的研究.pdf

1、聚合酶鏈式反應(yīng)(Polymerase Chain Reaction,簡稱PCR)技術(shù)是發(fā)展很快、應(yīng)用很廣的體外擴增基因片斷技術(shù),在生命科學研究及諸多相關(guān)領(lǐng)域已經(jīng)得到了廣泛應(yīng)用.集成化的PCR生物芯片使得該項技術(shù)應(yīng)用更加方便快捷、高效可靠、降低成本.該文的工作是利用MEMS技術(shù)在單晶硅上制作集成PCR芯片.首先,利用氧化工藝和LPCVD技術(shù),生長SiO<,2>掩膜層和Si<,3>N<,4>絕緣層,以提高反應(yīng)腔的熱效率,保證擴增反應(yīng)的順利進

2、行;其次,用濕法腐蝕和干法刻蝕相結(jié)合的方法加工微型腔體,使之作為DNA樣品進行PCR擴增反應(yīng)的容器;第三,用濺射、光刻等工藝在微型腔體底部制作微型加熱器和溫度傳感器,實現(xiàn)對反應(yīng)腔體的加熱及其溫度的精確測量,提供PCR擴增反應(yīng)所需的溫度條件.第四,設(shè)計溫度控制系統(tǒng),保證PCR反應(yīng)的順利進行.經(jīng)過不斷地分析實驗結(jié)果,改進制作方法,最終探索出了較好的工藝條件,制備出了較理想的微型腔體、鎳薄膜電阻溫度傳感器和鎳鉻合金薄膜電阻加熱器,能提供和檢測