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1、微進(jìn)給系統(tǒng)是精密加工和超精密加工裝置和機(jī)床的關(guān)鍵部件,其進(jìn)給精度決定精密加工和超精密加工的精度,而系統(tǒng)進(jìn)給精度取決于微進(jìn)給系統(tǒng)的控制精度以及微進(jìn)給機(jī)構(gòu)的進(jìn)給精度。雙驅(qū)控制是在單自由度方向上控制兩個(gè)驅(qū)動(dòng)器共同驅(qū)動(dòng)構(gòu)件運(yùn)動(dòng)的方式,針對(duì)精密和超精密加工中的進(jìn)給運(yùn)動(dòng),應(yīng)用雙驅(qū)控制技術(shù)能有效簡(jiǎn)化傳動(dòng)機(jī)構(gòu),提高加工精度。
本文針對(duì)精密加工和超精密加工過程中的微量進(jìn)給運(yùn)動(dòng),將雙驅(qū)控制技術(shù)與微進(jìn)給技術(shù)相結(jié)合,通過完成系統(tǒng)總體方案設(shè)計(jì)、關(guān)鍵器件
2、選型、硬件系統(tǒng)搭建、相關(guān)數(shù)學(xué)模型建立與仿真以及控制系統(tǒng)軟件開發(fā),設(shè)計(jì)基于雙驅(qū)控制技術(shù)的壓電陶瓷微進(jìn)給系統(tǒng),并且在此基礎(chǔ)上設(shè)計(jì)并進(jìn)行相關(guān)驗(yàn)證性實(shí)驗(yàn),驗(yàn)證了本文設(shè)計(jì)的雙驅(qū)壓電式微進(jìn)給系統(tǒng)的有效性和實(shí)用性,具體研究?jī)?nèi)容如下:
(1)設(shè)計(jì)雙驅(qū)壓電式微進(jìn)給系統(tǒng)的總體構(gòu)架,進(jìn)行系統(tǒng)方案設(shè)計(jì)和關(guān)鍵器件選型,設(shè)計(jì)搭建了由ACS控制器、PPC定位控制器、雙驅(qū)壓電陶瓷微進(jìn)給工作臺(tái)和LVDT測(cè)微儀組成的雙驅(qū)壓電式微進(jìn)給系統(tǒng)。
(2)針對(duì)壓
3、電陶瓷的遲滯非線性,采用改進(jìn)PI前饋逆模型,結(jié)合增量式PID控制,建立了針對(duì)雙壓電驅(qū)動(dòng)的微進(jìn)給系統(tǒng)雙驅(qū)并聯(lián)控制模型并進(jìn)行仿真,結(jié)果表明所設(shè)計(jì)的控制器能有效消減跟蹤誤差。進(jìn)行系統(tǒng)連續(xù)控制實(shí)驗(yàn),驗(yàn)證了該控制方法能消減壓電陶瓷遲滯特性。
(3)設(shè)計(jì)了雙驅(qū)壓電式微進(jìn)給系統(tǒng)控制軟件,實(shí)現(xiàn)與ACS控制器SPiiPlus控制軟件及系統(tǒng)各硬件通訊集成,實(shí)現(xiàn)了ACS控制器&壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的整體系統(tǒng)控制和雙驅(qū)壓電式微進(jìn)給同步控制。
(4)
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