X射線復(fù)合折射透鏡的設(shè)計與制作.pdf

1、近年來，由于復(fù)合折射透鏡具有獨(dú)特的光學(xué)性能，已成為X射線光學(xué)領(lǐng)域內(nèi)的一個重要研究方向，其研究成果廣泛應(yīng)用于第三代同步輻射光源中。在過去十年里，復(fù)合折射透鏡走過了從無到有，從單一到多樣化的過程，成為了X射線光學(xué)研究的熱點(diǎn)之一。 本文首先回顧了復(fù)合折射透鏡的發(fā)展歷程，闡述了復(fù)合折射透鏡的基本理論，詳細(xì)介紹了復(fù)合折射透鏡的選材標(biāo)準(zhǔn)。在理論分析的基礎(chǔ)上，推導(dǎo)了平面拋物形折射透鏡的基本理論公式。 在平面拋物形折射透鏡設(shè)計過程中，針

2、對X射線衍射儀的檢測條件、元件加工的技術(shù)要求和可用材料特性，優(yōu)化設(shè)計了SU-8光刻膠平面拋物形折射透鏡，給出了相應(yīng)的結(jié)構(gòu)參數(shù)。用ZEMAX光學(xué)設(shè)計商用軟件對透鏡進(jìn)行了光線追跡，模擬驗(yàn)證了設(shè)計結(jié)果。共設(shè)計出30組透鏡，透鏡個數(shù)從1到30，相應(yīng)的拋物形頂點(diǎn)處的曲率半徑從1.23μm到37μm。每組透鏡的幾何孔徑為250gm，焦距為30cm，焦斑直徑均在微米量級。在入射光子能量為8.05keV的條件下，透鏡的理論透過率從43.3﹪到33.2﹪