二氧化硅基光導(dǎo)膜的制備及微細(xì)加工.pdf

1、本文旨在利用溶膠-凝膠法制備性能良好的SiO2基光導(dǎo)膜，提高膜厚是本文的重點(diǎn)。首先探討了在傳統(tǒng)溶膠-凝膠法制備SiO2膜的基礎(chǔ)上，添加干燥控制劑DCCA，制得SiO2光導(dǎo)膜;為進(jìn)一步提高膜厚，探討了以有機(jī)硅氧烷材料和丁氧醇鋁為先驅(qū)物，制備有機(jī)無機(jī)復(fù)合SiO2/Al2O3光導(dǎo)膜;另外，還研究了厚膜波導(dǎo)光柵的微細(xì)加工和紫外激光干涉法制備高密度光柵的新方法。通過光度計測試了薄膜紫外可見吸收光譜和透過率，分析了凝膠膜的感光性;據(jù)光度法，計算出光

2、導(dǎo)膜的折射率，分析了折射率隨光照和熱處理的變化;利用表面輪廓儀測試不同條件下制備的薄膜的厚度;通過紅外分光光度計分析了溶膠及薄膜不同條件下的紅外吸收曲線;研究發(fā)現(xiàn):
　　所研究的二氧六環(huán)、甲酰氨、草酸以及二甲基甲酰氨四種干燥控制添加劑對SiO2薄膜均有增厚作用，其中以二氧六環(huán)效果最為明顯，一次拉膜經(jīng)500℃熱處理后可得到厚度達(dá)1.2μm的SiO2薄膜;
　　以有機(jī)硅氧烷材料(MAPTMS)和丁氧醇鋁為先驅(qū)物，BzAcH為化學(xué)