圓管外表面電解蝕刻機(jī)床設(shè)計(jì)及分析.pdf

1、具有{111}晶向（軸向）的鉬單晶基體化學(xué)氣相沉積(CVD)鎢單晶涂層為材料的薄壁圓管用作熱能離子轉(zhuǎn)換器的重要零件——發(fā)射極，其材料表面的鎢{110}晶面占發(fā)射極表面的份額對(duì)熱能離子轉(zhuǎn)換器的轉(zhuǎn)換效率起著關(guān)鍵作用。用傳統(tǒng)機(jī)械加工很難實(shí)現(xiàn)對(duì)鉬單晶基體化學(xué)氣相沉積鎢涂層為材料制成的薄壁長(zhǎng)筒零件的表面加工。因此本文運(yùn)用電解蝕刻加工方法對(duì)圓管外表面進(jìn)行處理，以制備出具有高分額{110}晶面的發(fā)射極表面。
　　本文根據(jù)鉬單晶基體化學(xué)氣相沉積(

2、CVD)鎢單晶涂層為材料的薄壁圓管的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)和加工工藝要求，設(shè)計(jì)了一套圓管外表面電解蝕刻系統(tǒng)，該系統(tǒng)由電解蝕刻機(jī)床本體、電解蝕刻工藝裝備、電解液系統(tǒng)、控制系統(tǒng)等部分組成。完成了對(duì)電解蝕刻機(jī)床的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與三維建模，運(yùn)用Workbench對(duì)機(jī)床進(jìn)行結(jié)構(gòu)分析及結(jié)構(gòu)優(yōu)化;根據(jù)加工工藝要求設(shè)計(jì)制造電解蝕刻圓管表面加工工裝，該工裝能夠?qū)崿F(xiàn)工件陽極、工具陰極的定位、夾緊，同時(shí)可夠保證蝕刻電源正負(fù)極與工件陽極、工具陰極有效地連接。建立了加工間隙電場(chǎng)和流