外文翻譯---微型半導(dǎo)體流量傳感器的發(fā)展

1、中文 中文 6633 字 出處： 出處：Kohl F, Fasching R, Keplinger F, et al. Development of miniaturized semiconductor flow sensors[J]. Measurement, 2003, 33(2): 109-119.外文翻譯 外文翻譯譯文題目 微型半導(dǎo)體流量傳感器的發(fā)展 微型半導(dǎo)體流量傳感器的發(fā)展

2、 原稿題目 Development of miniaturized semiconductor flow sensors 原稿出處 Ludwig Boltzmann Institut für Biomedizinische Mikrotechnik, Wien, Austria 隨著工業(yè)、汽車、

3、家庭以及醫(yī)療應(yīng)用領(lǐng)域?qū)ξ⑿土髁總鞲衅鞯男枨笕找嬖鲩L(zhǎng)，其測(cè)量原理有基于熱敏電阻、紅外線溫度傳感器、焦熱電元件、PN 結(jié)、惠斯登微型電橋、普朗特管和其它元件[1-10]。而微加工技術(shù)的使用，則實(shí)現(xiàn)高靈敏度、低功耗和快速響應(yīng)的目的。流量傳感器的一個(gè)重要應(yīng)用是在內(nèi)燃機(jī)瞬時(shí)進(jìn)氣口中測(cè)量其進(jìn)氣流量。如果一個(gè)人試圖最大限度地縮小發(fā)動(dòng)機(jī)的燃料消耗和對(duì)環(huán)境造成的污染，那么了解燃燒過程參數(shù)的知識(shí)是必不可少的。為了這種發(fā)動(dòng)機(jī)的發(fā)展，傳感器必須具備寬的速度測(cè)量

4、范圍以及能夠?qū)﹄S著時(shí)間變化的空氣流速進(jìn)行高分辨率的檢測(cè)。這里所提到的熱式流量傳感器是基于傳熱原理，即加熱體被流過其表面的流體冷卻，而其冷卻速度取決于流體的流速[11]。這種傳感器是基于所謂的‘熱膜式’流量測(cè)量方法，其上有一層非常薄的氮化硅薄膜覆蓋在與一個(gè)與流道平齊且由微加工產(chǎn)生的硅基襯底上，如圖 1 所示。然后，一個(gè)薄膜加熱電阻被安放在襯底的對(duì)稱面上，以獲得對(duì)稱的表面溫度分布，而兩個(gè)膜片溫度測(cè)量電阻被分別放置在加熱電阻的上游和下游區(qū)域。

5、圖 1 熱膜式傳感器的橫截面和隔膜表面的溫度分布曲線圖H-加熱電阻；DT1、DT2-測(cè)溫傳感器當(dāng)有一個(gè)切向流體流過時(shí)，其表面的熱對(duì)稱性將被破壞。溫度較低的流體流過加熱電阻表面時(shí)，其一部分熱量被帶走，流體溫度上升，于是下游區(qū)域的冷卻效應(yīng)減小，而且在這個(gè)區(qū)域的溫度有可能比無流體流動(dòng)時(shí)的表面溫度還要高。因此，在被冷卻的上游區(qū)域和被稍微冷卻（或被加熱）的下游區(qū)域之間形成一個(gè)溫度差，而這個(gè)溫度差信號(hào)可以轉(zhuǎn)變?yōu)殡妷盒盘?hào)輸出，并用作測(cè)量流體流速或質(zhì)量