多晶硅生產工藝的發(fā)展職業(yè)學院化學工程畢業(yè)論文_第1頁
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文檔簡介

1、揚州工業(yè)職業(yè)技術學院 揚州工業(yè)職業(yè)技術學院2009 — 2010 學年第 一 學期畢業(yè)設計(論文) 畢業(yè)設計(論文)(課程設計) (課程設計)課題名稱: 多晶硅生產工藝的發(fā)展設計時間: 2009.11.23~2009.12.10系 部: 化 學 工 程 系班 級: 0703 應化姓 名: 侍昌蕾指導教師: 張 偉揚州工業(yè)職業(yè)技術學院1目 錄引言...............................................

2、.................................................................................4一、多晶硅的現狀及發(fā)展前景....................................................................................51.1 多晶硅的應用..............................

3、...........................................................................51.2 多晶硅在我國的發(fā)展.............................................................................................51.3 全球多晶硅的發(fā)展.........................

4、.......................................................................7二、多晶硅產業(yè)總體發(fā)展趨勢..................................................................................102.1 多晶硅產業(yè)產能發(fā)展分析....................................

5、...............................................102.2 多晶硅生產工藝發(fā)展趨勢..................................................................................122.2.1 半導體用多晶硅技術及發(fā)展趨勢....................................................

6、...............122.2.2 可再生能源光伏產業(yè)用多晶硅發(fā)展趨勢......................................................132.2.3 國內多晶硅產業(yè)技術發(fā)展趨勢......................................................................13三、多晶硅生產流程的發(fā)展.....................

7、.................................................................143.1 SiCl4 法制備第一代多晶硅..............................................................................143.2 SiH2Cl2 法制備第二代多晶硅.................................

8、.........................................163.3 SiHCl3 法制備第三代多晶硅.............................................................................173.4 改良西門子法制備多晶硅...............................................................

9、....................183.4.1 大型多晶棒節(jié)能型還原爐..............................................................................183.4.2 導熱油循環(huán)冷卻還原爐工藝技術..................................................................193.4.3 還原尾氣的干法

10、回收技術..............................................................................193.4.4 四氯化硅(SiCl4)氫化反應技術................................................................193.5 SiHCl3 法的探討................................

11、..............................................................20五、我國多晶硅光伏產業(yè)面臨三大困境..................................................................245.1 金融危機使多晶硅產業(yè)急轉直下.....................................................

12、...............245.2 多晶硅光伏產業(yè)發(fā)展面臨三大困境................................................................245.3 多晶硅光伏產業(yè)“兩頭在內“才能有出路......................................................25六、當代多晶硅制備工藝中的不足及改進措施....................

13、..................................266.1 多晶硅制備工藝中所存在的不足....................................................................266.2 改進措施........................................................................................

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