隧道陀螺測(cè)試電路設(shè)計(jì)

1、隧道陀螺測(cè)試電路設(shè)計(jì)摘要微機(jī)械陀螺儀和傳統(tǒng)陀螺儀相比具有體積小、重量輕、成本低、可靠性高等優(yōu)點(diǎn)，在眾多領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景。但隨著微機(jī)械陀螺儀外表尺寸的縮小，傳統(tǒng)的電容檢測(cè)技術(shù)大大影響了器件的檢測(cè)靈敏度和分辨率，所以針對(duì)這些問題提出了新型隧道式微機(jī)械陀螺的設(shè)計(jì)方案。本文針對(duì)微機(jī)械隧道陀螺儀的測(cè)試電路進(jìn)行設(shè)計(jì)，主要包括驅(qū)動(dòng)和檢測(cè)兩個(gè)部分：1驅(qū)動(dòng)電路：設(shè)計(jì)了微機(jī)械隧道陀螺儀的開環(huán)驅(qū)動(dòng)電路。驅(qū)動(dòng)電路是維持陀螺的可動(dòng)質(zhì)量塊沿驅(qū)動(dòng)方向以一定的頻

2、率作恒幅簡(jiǎn)諧振動(dòng)，通過實(shí)驗(yàn)分析證明該方法可以驅(qū)動(dòng)陀螺。2檢測(cè)電路：設(shè)計(jì)了微機(jī)械隧道陀螺儀的檢測(cè)電路。檢測(cè)部分是檢測(cè)隧道陀螺產(chǎn)生的隧道電流，并對(duì)信號(hào)進(jìn)行處理，得到需要測(cè)量的輸入角速度信號(hào)。關(guān)鍵詞：微機(jī)械陀螺儀，驅(qū)動(dòng)，檢測(cè)，隧道電流第I頁(yè)共II頁(yè)目錄1緒論..................................................................11.1微機(jī)械陀螺研究背景...............

3、................................11.1.1本課題的研究背景............................................21.1.2國(guó)外微陀螺的研究現(xiàn)狀........................................21.1.3國(guó)內(nèi)微陀螺的研究現(xiàn)狀........................................71.2微機(jī)械陀螺電路的研究現(xiàn)狀..

4、.......................................101.3微機(jī)械隧道檢測(cè)的研究目的及意義...................................121.4論文內(nèi)容安排.....................................................132微陀螺基礎(chǔ)知識(shí)....................................................

5、....142.1微陀螺工作原理...................................................142.1.1Ciolis效應(yīng).................................................142.1.2微陀螺工作原理..............................................162.2微機(jī)械陀螺的驅(qū)動(dòng)和檢測(cè)電路...........

6、............................172.2.1靜電梳齒驅(qū)動(dòng)................................................172.2.2隧道微陀螺結(jié)構(gòu)輸出檢測(cè)......................................183隧道微機(jī)械陀螺的電路設(shè)計(jì)..............................................223.1隧道陀螺開環(huán)驅(qū)動(dòng)電

7、路設(shè)計(jì).........................................223.1.1波形發(fā)生器..................................................233.1.2緩沖器......................................................233.1.3反相器........................................

8、..............243.1.4信號(hào)疊加電路................................................253.2隧道陀螺閉環(huán)驅(qū)動(dòng)電路設(shè)計(jì).........................................263.2.1隧道陀螺閉環(huán)驅(qū)動(dòng)電路原理....................................273.2.2鎖相環(huán)電路設(shè)計(jì)..................