壓力傳感器論文壓電傳感器論文

1、學(xué)術(shù)發(fā)表和寫(xiě)作資源平臺(tái)：.cnQQ：275252867論文發(fā)表聯(lián)系方式論文發(fā)表聯(lián)系方式qq：278121888壓力傳感器論文壓電傳感器論文一種用于壓力傳感器的溫度控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)一種用于壓力傳感器的溫度控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)摘要:針對(duì)SiC高溫MEMS壓力傳感器易受溫度影響產(chǎn)生零點(diǎn)漂移、測(cè)量誤差增大等問(wèn)題設(shè)計(jì)了一種溫度控制系統(tǒng)根據(jù)科恩庫(kù)恩公式建立了系統(tǒng)的數(shù)學(xué)模型采用參數(shù)自整定PID控制算法克服了純PID控制有較大超調(diào)量的缺點(diǎn)實(shí)現(xiàn)了一個(gè)溫度控制系統(tǒng)。利

2、用Matlab仿真軟件的Similink模塊建立系統(tǒng)的仿真模型通過(guò)仿真和測(cè)試驗(yàn)證系統(tǒng)滿足設(shè)計(jì)要求。解決了大溫度范圍下壓力傳感器難以補(bǔ)償?shù)膯?wèn)題使得壓力傳感器在高溫環(huán)境下的應(yīng)用得以實(shí)現(xiàn)提高了壓力傳感器的穩(wěn)定性。關(guān)鍵詞:MEMS壓力傳感器溫度控制零點(diǎn)漂移DesignofTemperatureControlSystemfPressureSenssGUOJiang(CollegeofInfmationEngineeringSouthwestUni

3、versityofScienceTechnologyMianyang621010China)Abstract:AtemperaturecontrolsystemftheSiCMEMSpressuresensisdesignedasthepressuresensissusceptibletohightemperatureeasytoresultinzerodriftmeasurementerrincrease.Amathematicalm

4、odelfthesystemisestablishedaccdingtoCohenCoonfmula.學(xué)術(shù)發(fā)表和寫(xiě)作資源平臺(tái)：.cnQQ：275252867論文發(fā)表聯(lián)系方式論文發(fā)表聯(lián)系方式qq：278121888然而當(dāng)外界溫度較大時(shí)壓力傳感器受溫度影響精度不高會(huì)產(chǎn)生零點(diǎn)漂移等問(wèn)題從而增大測(cè)量誤差。于是嘗試加工一個(gè)腔體把壓力傳感器和溫度傳感器放置在里面形成一個(gè)小的封閉腔體在外界溫度較高或較低的情況下用加熱裝置先升溫到幾十度并維持這一溫度給

5、壓力傳感器做零點(diǎn)補(bǔ)償提高壓力傳感器的測(cè)量精度。這樣就克服了在大溫度范圍難以補(bǔ)償?shù)膯?wèn)題。本文對(duì)這個(gè)溫度控制系統(tǒng)提出了解決方案采用了PID參數(shù)自整定控制模糊控制屬于智能控制方法它與PID控制結(jié)合具有適應(yīng)溫控系統(tǒng)非線性、干擾多、時(shí)變等特點(diǎn)[13]。1硬件系統(tǒng)用放置在腔體內(nèi)的溫度傳感器測(cè)量恒溫箱內(nèi)的溫度產(chǎn)生的信號(hào)經(jīng)過(guò)放大后輸出反饋信號(hào)再用單片機(jī)進(jìn)行采樣由液晶顯示恒溫箱內(nèi)的溫度并通過(guò)溫度控制算法控制加熱裝置。所使用的單片機(jī)為STC125408AD