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1、半導(dǎo)體測試基礎(chǔ)半導(dǎo)體測試基礎(chǔ)——術(shù)語術(shù)語摘要:本章節(jié)包括一下內(nèi)容:?測試目的?測試術(shù)語?測試工程學(xué)基本原則?基本測試系統(tǒng)組成?PMU(精密測量單元)及引腳測試卡?樣片及測試程序一、基礎(chǔ)術(shù)語描述半導(dǎo)體測試的專業(yè)術(shù)語很多,這里只例舉部分基礎(chǔ)的:1DUT需要被實施測試的半導(dǎo)體器件通常叫做DUT(DeviceUnderTest,我們常簡稱“被測器件”),或者叫UUT(UnitUnderTest)。首先我們來看看關(guān)于器件引腳的常識,數(shù)字電路期間的
2、引腳分為“信號”、“電源”和“地”三部分。信號腳,包括輸入、輸出、三態(tài)和雙向四類,輸入:在外部信號和器件內(nèi)部邏輯之間起緩沖作用的信號輸入通道;輸入管腳感應(yīng)其上的電壓并將它轉(zhuǎn)化為內(nèi)部邏輯識別的“0”和“1”電平。輸出:在芯片內(nèi)部邏輯和外部環(huán)境之間起緩沖作用的信號輸出通道;輸出管腳提供正確的邏輯“0”或“1”的電壓,并提供合適的驅(qū)動能力(電流)。三態(tài):輸出的一類,它有關(guān)閉的能力(達到高電阻值的狀態(tài))。雙向:擁有輸入、輸出功能并能達到高阻態(tài)的
3、管腳。電源腳,“電源”和“地”統(tǒng)稱為電源腳,因為它們組成供電回路,有著與信號引腳不同的電路結(jié)構(gòu)。VCC:TTL器件的供電輸入引腳。VDD:CMOS器件的供電輸入引腳。VSS:為VCC或VDD提供電流回路的引腳。GND:地,連接到測試系統(tǒng)的參考電位節(jié)點或VSS,為信號引腳或其他電路節(jié)點提供參考0電位;對于單一供電的器件,我們稱VSS為GND。2測試程序半導(dǎo)體測試程序的目的是控制測試系統(tǒng)硬件以一定的方式保證被測器件達到或超越它的那些被具體定
4、義在器件規(guī)格書里的設(shè)計指標。測試程序通常分為幾個部分,如DC測試、功能測試、AC測試等。DC測試驗證電壓及電流參數(shù);功能測試驗證芯片內(nèi)部一系列邏輯功能操作的正確性;AC測試用以保證芯片能在特定的時間約束內(nèi)完成邏輯操作。程序控制測試系統(tǒng)的硬件進行測試,對每個測試項給出pass或fail的結(jié)果。Pass指器件達到或者超越了其設(shè)計規(guī)格;Fail則相反,器件沒有達到設(shè)計要求,不能用于最終應(yīng)用。測試程序還會將器件按照它們在測試中表現(xiàn)出的性能進行相
5、應(yīng)的分類,這個過程叫做“Binning”,也稱為“分Bin”.舉個例子,一個微處理器,如果可以在150MHz下正確執(zhí)行指令,會被歸為最好的一類,稱之為“Bin1”;而它的某個兄弟,只能在100MHz下做同樣的事情,性能比不上它,但是也不是一無是處應(yīng)該扔掉,還有可以應(yīng)用的領(lǐng)域,則也許會被歸為“Bin2”,賣給只要求100MHz的客戶。?IncomingInspection——收貨檢驗,終端客戶為保證購買的芯片質(zhì)量在應(yīng)用之前進行的檢查或測試
6、。?AssemblyVerification——封裝驗證,用于檢驗芯片經(jīng)過了封裝過程是否仍然完好并驗證封裝過程本身的正確性。這一過程通常在FT測試時一并實施。?FailureAnalysis——失效分析,分析失效芯片的故障以確定失效原因,找到影響良率的關(guān)鍵因素,并提高芯片的可靠性。?測試系統(tǒng)的性能。測試程序要充分利用測試系統(tǒng)的性能以獲得良好的測試覆蓋率,一些測試方法會受到測試系統(tǒng)硬件或軟件性能的限制。高端測試機:?高度精確的時序——精確
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