精密研磨

1、Student: wenjheng LinAdviser: Liren Tsai,Precise grinding & polishing,Outline,Introduction-----------------------------------------------(4)超精密研磨方法-----------------------------------------(5)彈性發(fā)射加工----------------

2、----------------------------(6) 彈性發(fā)射加工示意圖 彈性發(fā)射加工裝置浮動研磨--------------------------------------------------(10) 浮動研磨機磁力研磨--------------------------------------------------(12) 磁力研磨機電解磁力研磨--------------------

3、------------------------(14) 電解磁力研磨示意圖 電解磁力研磨機,Outline,製程中電解削銳-----------------------------------------(17) 製程中電解削銳示意圖化學機械研磨--------------------------------------------(19) 化學機械研磨示意圖 化學機械研磨機超音波震動研磨--

4、---------------------------------------(22) 異形電極式超音波研磨 螺旋電極式超音波研磨 超音波震動研磨機References-----------------------------------------------(26),Introduction,超精密加工技術標誌著一個國家機械製造業(yè)的水準，在提高光機電產(chǎn)品的性能、品質、壽命和研發(fā)高科技產(chǎn)品等方面具有十分重要的

5、作用。當前，超精密加工是指加工誤差小於0.01μm、表面粗糙度小於Ra0.025μm 的加工，又稱之為亞微米級加工?，F(xiàn)在，超精密加工已進入納米級，稱之為納米加工。研磨或者拋光(Lapping or Polishing)是使工件產(chǎn)生平滑鏡面的超精密研磨技術，其目的在於使表面粗糙度及平坦度到達一定的可容許範圍，常被廣泛的使用在硬脆金屬、陶瓷、玻璃及晶圓等材料表面的精密加工。,超精密研磨方法,#基於機械作用的超精密研磨方法: 基於機械作

6、用的超精密研磨拋光方法是依靠微細磨粒的 械作用對被加工表面進行微量去除，達到高精度的加工表 面。機械研磨、彈性發(fā)射加工、浮動研磨、磁力研磨、電解磁力研磨、 ELID研磨# 基於機械化學作用的超精密研磨方法: 機械化學研磨是在微粉粒子的撞擊和研磨液的化學作用 產(chǎn)生研磨作用，去除工件表面的微量材料?；瘜W機械研磨超音波振動研磨,彈性發(fā)射加工(EEM),加工時使用聚氨脂球作加工頭，在高速旋轉的加工頭與被加工工件表面之間加

7、上含有微細磨粒（0.1～0.01μm）的研磨液，並產(chǎn)生一定的壓力。通過高速旋轉的加工頭所產(chǎn)生的高速氣流及離心力，使磨粒衝擊或擦過工件表面，產(chǎn)生彈性破壞物質的原子結合，從而去除工件表面的材料。,彈性發(fā)射加工示意圖,彈性發(fā)射加工示意圖,Interactions Between Surfaces of Ultra-fine Powders and Works,Interactions Between Surfaces of Ultra-fin

8、e Powders and Works(a)Surface structures before interaction. (b)Hydrogen bonding between two surface. (c)Interface structure. (d)Separation of adsorbed powder with work atom removals.,彈性發(fā)射加工裝置,非接觸加工裝置,動壓軸項軸承構造,它利用流體力學原理

9、使拋光器與工件浮離，在拋光器的工件表面做出了若干楔槽，當拋光器高速旋轉時，由於油楔的動壓作用使工件或拋光器浮起，其間的磨粒就對工件表面進行拋光。,浮動研磨,浮動研磨機,磁力研磨是利用磁場將磁性磨料聚集在工件與磁極間之工作間隙內(nèi)，這些聚集的磁性磨料在磁場的作用下形成一束撓性的磁力刷（magnetic brush），同時產(chǎn)生研磨壓力作用在工件表面上，再藉由工件的旋轉與軸向振動，使磁性磨粒與工件表面之間產(chǎn)生相對運動，而達到精密拋光的效果,磁力

10、研磨,磁力研磨機,電流電壓的陽極接工件，陰極接工具，陰極接欲去除毛刺的工件部位。電解液由泵驅動後經(jīng)陰極流過陽極工件的毛刺部位到達回流槽。工件以一定的速度旋轉，同時作軸向振動。在垂直於工件軸線及電力線的平面方向上加直流強磁場，在磁場中填入游離狀的磁性磨料，由磁磨料組成的“磨料刷”快速衝擊件表面，去除突起的毛刺和實現(xiàn)光整加工。,電解磁力研磨,電解磁力研磨示意圖,電解磨削原理示意圖,電解磨削機構示意圖,電解磁力研磨機,製程中電解削銳(Elec

11、trolytic In-Process Dressing，ELID),電子零件等功能材料之進步是有目共睹的，但對於各種素材零件之加工精度要求則是愈來愈嚴格。其加工技巧之磨料加工技術的研磨、拋光方面，對於高效率、高精度、高品位、超精密、自動化等之期望也很高，滿足其要求的加工技術之一為ELID研磨法。ELID研磨法為金屬結合砂輪的削銳方法之一，利用電氣化學作用所產(chǎn)生之電解溶出現(xiàn)象，在研磨加工中也可以連續(xù)地進行削銳，以保持穩(wěn)定的銳利度。

12、,製程中電解削銳示意圖,使用ELID研磨法之平面磨床示意圖,ELID研磨時之砂輪表面狀態(tài)示意圖,化學機械研磨,CMP 指化學機械研磨 (Chemical Mechanical Polishing)，或稱為化學機械平坦化 (Chemical Mechanical Planarization)。CMP 是在研磨機的研磨墊(PU Pad)上注入研磨漿料(Slurry)進行研磨晶圓的動作，目的是將積體電路晶圓(IC Wafer)上的介電層(o

13、xide layer)與金屬層(metal layer)磨平，使其全面平坦化進而達到立體佈線或者多層佈線，提升配線密度(pattern density)，同時降低缺陷密度(defect density)，提升製程良率。,化學機械研磨示意圖,擷取自:http://140.112.22.210/lab/eml/semi-94/chapter12 %E5%8C%96%E5%AD%B8%E6%A9%9F%E6%A2%B0%E7%A0%94%E7

14、%A3%A8.pdf,化學機械研磨機,超音波震動工具頭的端面與工件表面保持一固定的間隙δ，並在其間充以微細磨粒工作液，當超音波振動工具以一定的頻率振動時，帶動微細磨粒衝擊工件表面，從而對工件表面進行研磨。,超音波震動研磨,異形電極式超音波研磨,異形電極式超音波研磨為利用異形電極，搭配由平均粒徑1μm的氧化鋁磨粒混合黏度為SAE30之調(diào)製而成的研磨磨料，來進行加工。,螺旋電極式超音波研磨,當右螺旋電極順時針旋轉時，螺旋溝槽會帶動黏彈性磨料

15、進入微孔內(nèi)，因此置於工件底部的磨料將由微孔出口進入，通過微孔後排出，使磨料十分順利的存在於間隙中，而為了讓過程更順暢，以矽油、臘油與高分子膠液等油酯，添加5μm的SiC磨粒調(diào)製而黏彈性磨料，因黏彈性磨料如同果凍般為半固體狀態(tài)，比液態(tài)磨料更容易被帶動，不僅加速了磨料的更替，亦提升了研磨效果。,超音波震動研磨機,References,榮烈潤 上海市靜安區(qū)職工大學《航空精密制造技術》2005 年第2 期丁建國 科技與化學－化學機械研磨漿料

16、相關介紹 哲學四 B93104019張 耿 維 國立 中 央 大 學機 械 工 程 研 究 所 博 士 論 文 磁力研磨與電解磁力研磨之拋光特性研究超精密加工技術 高道鋼 編譯 全華科技圖書股份有限公司 印行羅勝益、顏木田、蔡傳暉 華梵大學機電工程學系何炳興 國立中央大學 機械工程研究所 碩士論文 精密磨削(Precision Grinding) http://blog.sina.com.tw/lifung/a