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文檔簡介
1、本文采用吸附動力學(xué)中吸附平衡的思想，從吸附的基本原理出發(fā)，以單層吸附理論分析方法為基礎(chǔ)，用多層吸附理論對氣體吸附問題所引起的對NEMS諧振器件的諧振頻率和品質(zhì)因數(shù)的影響作了相應(yīng)的理論分析，對結(jié)果按照影響參數(shù)分類作了數(shù)值仿真，并和單層吸附理論的結(jié)果進(jìn)行了比較。最后對于已有的氣體吸附解吸附問題對NEMS諧振器件的噪聲影響作了一個簡要介紹。 數(shù)值仿真結(jié)果顯示，不論是單層吸附理論還是多層吸附理論，其相同點(diǎn)在于都有個飽和吸附量，只是飽和的
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