醫(yī)用壓電陶瓷片的超精密磨削加工實(shí)驗(yàn)研究.pdf

1、自1880年居里兄弟發(fā)現(xiàn)晶體的壓電效應(yīng)以來，壓電器件已在水聲、超聲、傳感技術(shù)等領(lǐng)域取得了廣泛的應(yīng)用。隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，航空航天、醫(yī)療器械等新技術(shù)領(lǐng)域?qū)弘娖骷囊笠苍絹碓礁?。特別是在醫(yī)療超聲傳感器技術(shù)中，作為核心部分的壓電陶瓷(PZT)，由于具有非常強(qiáng)和非常穩(wěn)定的壓電效應(yīng)，受到越來越多的重視。 壓電陶瓷材料雖然具有其他材料無法比擬的優(yōu)越性能，但是它也有自己最顯著的缺點(diǎn)、即脆性；同時(shí)它還存在加工極困難，很難象普通材料一樣對陶瓷

2、進(jìn)行機(jī)械加工。要實(shí)現(xiàn)壓電陶瓷所具備的優(yōu)異性能，就必須加工成具有一定形狀精度和尺寸精度的元件，因此，研究壓電陶瓷的加工技術(shù)，特別是精密、超精密加工技術(shù)具有重大的應(yīng)用價(jià)值，有很大的現(xiàn)實(shí)意義。 本文采用了特制超薄金剛石鋸片砂輪，使用超精密磨削機(jī)床對壓電陶瓷片進(jìn)行磨削加工實(shí)驗(yàn)研究，運(yùn)用正交實(shí)驗(yàn)常用的數(shù)據(jù)分析方法一直觀分析法，對加工后的工件表面粗糙度和砂輪磨損狀況進(jìn)行了分析，得出如下結(jié)論： ①磨削參數(shù)的變化直接影響加工表面的表面質(zhì)