薄膜溫度傳感器的研制.pdf

1、本課題屬于切削溫度測(cè)試研究領(lǐng)域，得到遼寧省自然科學(xué)基金項(xiàng)目的支持，項(xiàng)目編號(hào)(20062143)和遼寧省教育廳高?？萍加?jì)劃的支持，項(xiàng)目編號(hào)(05L023)。 在切削機(jī)理研究中，切削溫度的測(cè)量與控制是切削加工科研和生產(chǎn)中的重要課題，同時(shí)由于其具有變化快，難以實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)測(cè)量等特點(diǎn)。因此也是一個(gè)不易解決的難題。本文采用磁控濺射技術(shù)制備了薄膜溫度傳感器并將其用于切削溫度的測(cè)量，因?yàn)楸∧犭娕寄苤苯訙y(cè)量切削溫度，而且響應(yīng)時(shí)間一般為ms級(jí)，甚至

2、能夠達(dá)到μs級(jí)別，因此準(zhǔn)確性和可靠性較高。 本課題組曾先后采用多弧離子鍍和磁控濺射技術(shù)在刀具上制備了NiSi/NiCr薄膜熱電偶來(lái)監(jiān)測(cè)切削溫度以確保安全生產(chǎn)，本文研究的對(duì)象是薄膜溫度傳感器的研制、加工，以實(shí)現(xiàn)切削溫度動(dòng)態(tài)測(cè)量。 論文的主要內(nèi)容包括：薄膜熱電偶溫度傳感器設(shè)計(jì)與制作，磁控濺射方法制備熱電偶的電極，靜態(tài)標(biāo)定、動(dòng)態(tài)標(biāo)定及切削溫度測(cè)量實(shí)驗(yàn)以及有限元分析等。 其中動(dòng)態(tài)標(biāo)定采用可調(diào)功率脈沖激光器產(chǎn)生的合適脈沖作