納米三坐標測量機的精度設計與誤差修正.pdf

1、三坐標測量機是近三十年來發(fā)展起來的一種高效率的新型精密測量儀器。隨著科學技術的發(fā)展，對三坐標測量機的精度提出了越來越高的要求，特別是隨著電子工業(yè)的發(fā)展，精度參數(shù)多為微納米數(shù)量級的微型器件不斷出現(xiàn)。對于這些微小的測量對象，現(xiàn)有的工業(yè)級三坐標測量機不僅體積上如同龐然大物，同時還存在很多缺點。因此，近年來精度達到納米級且體積微型化的三坐標測量機的研制受到世界各國的重視。但是要完全通過提高制造精度，嚴格控制環(huán)境條件與使用條件來實現(xiàn)更高的測量精度

2、是十分困難的。而誤差修正技術是一項能以較低成本，大幅度地提高三坐標測量機測量精度的先進技術手段。 本文分析了影響納米三坐標測量機測量精度的誤差源，建立了納米三坐標測量機的誤差模型，并針對不同的誤差源提出了相應的誤差分離方法。根據(jù)納米三坐標測量機的總體精度要求及其機械結構，提出了納米三坐標測量機的精度設計方案，并且根據(jù)該精度設計方案對納米三坐標測量機的結構設計提出了一些建議。根據(jù)三坐標測量機誤差修正的需要，編寫了誤差修正數(shù)據(jù)擬合軟