新型激光掃描共焦測(cè)頭的設(shè)計(jì)和研究.pdf

1、近年來(lái)，非接觸測(cè)頭的發(fā)展十分迅速，成為探測(cè)技術(shù)的一個(gè)重要的發(fā)展方向。 新型激光掃描共焦測(cè)頭的設(shè)計(jì)和研究基于激光掃描共焦顯微檢測(cè)法原理，運(yùn)用了動(dòng)態(tài)主動(dòng)調(diào)焦的方法，能夠滿足非接觸測(cè)量的要求。只要被測(cè)物位于測(cè)量光軸上，且在聚光點(diǎn)振動(dòng)范圍內(nèi)，那么在振動(dòng)的一個(gè)周期內(nèi)總會(huì)有兩次光點(diǎn)聚焦于被測(cè)靶球表面上。此時(shí)光電探測(cè)器接收到的光強(qiáng)最大，輸出的電信號(hào)也最強(qiáng)。機(jī)械和光路結(jié)構(gòu)的改進(jìn)設(shè)計(jì)和研究是論文介紹的重點(diǎn)。把位移量測(cè)量轉(zhuǎn)化成對(duì)時(shí)間差的測(cè)量方案是研

2、究的特色。最后，提出了一種新的信號(hào)處理方法，得出了實(shí)驗(yàn)結(jié)果。 關(guān)于激光掃描共焦測(cè)頭的一切工作都是為了提高其測(cè)量性能，主要的工作內(nèi)容如下： 1.簡(jiǎn)要介紹了動(dòng)態(tài)主動(dòng)調(diào)焦檢測(cè)法原理； 2.為了改善光電輸出信號(hào)，建立了共焦測(cè)頭的數(shù)學(xué)模型；對(duì)模型函數(shù)進(jìn)行擬合后，得出了光電信號(hào)的仿真曲線。提出了改善輸出信號(hào)的有效方法； 3.詳細(xì)介紹了共焦測(cè)頭的機(jī)械和光路結(jié)構(gòu)，簡(jiǎn)化了光路設(shè)計(jì)。闡述了音叉雙透鏡振動(dòng)機(jī)構(gòu)是測(cè)頭的機(jī)械和光學(xué)