ELID磨削砂輪表面氧化膜狀態(tài)表征.pdf

1、近年來，微電子學(xué)、光學(xué)和計算機等尖端技術(shù)的迅速發(fā)展，許多具有獨特性能的功能材料如單晶硅片、光學(xué)玻璃、工程陶瓷等硬脆材料在超精密領(lǐng)域獲得了廣泛的應(yīng)用。ELID超精密磨削是近幾年發(fā)展起來的一種超精密磨削方法，這種方法解決了超精密磨削的超硬微細(xì)磨料砂輪易堵塞和修銳困難的問題，能夠高效的實現(xiàn)硬脆材料的超精密加工。 ELID磨削能實現(xiàn)極低表面粗糙度的原因是通過在線電解作用在砂輪表面形成的氧化膜，這層氧化膜的狀態(tài)(主要是厚度和致密性)直接

2、影響超精密磨削的效果。本文專門設(shè)計了帶取樣裝置的砂輪，模擬了ELID的磨削過程，通過對樣塊掃描電鏡觀測，分析了不同電參數(shù)下，氧化膜的表面形貌、組成成分的區(qū)別。利用Labview軟件，編寫了與氧化膜狀態(tài)可能有對應(yīng)關(guān)系的回路電流信號、振動信號、磨削法向力信號、聲發(fā)射信號的采集、分析、保存等程序。利用MATLAB軟件，基于小波分析理論，對采集到的信號進(jìn)行分析處理，通過對這幾種信號的篩選和特征提取，選擇ELID磨削過程中回路電流的均值，磨削法向