新型電熱微驅動器的研究.pdf

1、隨著電子產(chǎn)品的小型化和系統(tǒng)功能的集成化,微型驅動器獲得了巨大的市場潛力并擁有廣闊的應用前景。眾多微驅動器中,電熱微驅動器具有體積小、結構相對簡單、加工工藝穩(wěn)定以及成本低等優(yōu)點,成為微型機械電子系統(tǒng)研究的熱門。本文研究了新型電熱微驅動器,其核心部件由懸臂梁、電路、基座組成。分別采用理論計算和軟件仿真,通過微細加工工藝制作了微驅動器,并進行了測試驗證。根據(jù)測試結果調整設計結構、加工工藝,最終獲得高質量的電熱驅動器。本文著重研究了懸空結構加工

2、中的厚犧牲層技術、熱驅動懸臂梁的制作等工藝問題,并提出嘗試三態(tài)工作模式的磁鎖定繼電器,并對其結構進行了進一步的估算。電熱微驅動器的加工工藝流程,主要采用SU-8和金屬鎳電鍍工藝制作了懸臂梁結構,詳細討論了SU-8的甩膠、熱處理及腐蝕浸泡等工藝,完成了這些關鍵部件的制作,該加工工藝具有工藝簡單,成本低的優(yōu)點。利用表面形貌輪廓儀、Veeco光學輪廓儀、結合力測試儀和掃描電鏡等設備測量了電熱微驅動器的形貌和輸出特性。根據(jù)實驗結果討論了加工的電