基于PSD的激光位移檢測(cè)中位移信號(hào)處理系統(tǒng)的研究.pdf_第1頁(yè)
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文檔簡(jiǎn)介

1、在長(zhǎng)度、位移等光學(xué)非接觸測(cè)量中，激光三角測(cè)量是一種常用的方法。
　　 位置敏感探測(cè)器PSD相比于其它光電位置探測(cè)器件，具有分辨率高，響應(yīng)速度快等特點(diǎn)。
　　 本文首先介紹了該課題的研究背景和意義，并通過閱讀大量的國(guó)內(nèi)外最新文獻(xiàn)資料，對(duì)激光三角法和位置敏感探測(cè)器PSD的基本原理進(jìn)行了闡述和分析；并在此基礎(chǔ)上提出了該系統(tǒng)要實(shí)現(xiàn)的功能，對(duì)基于PSD的高速、高精度位移檢測(cè)系統(tǒng)進(jìn)行了具體的硬件和軟件設(shè)計(jì)。由于PSD位移檢測(cè)屬于微弱

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