用于PZT驅(qū)動(dòng)器的納米位移傳感器微信號(hào)檢測(cè)與處理系統(tǒng)設(shè)計(jì).pdf

1、納米技術(shù)是20世紀(jì)80年代末期誕生后在21世紀(jì)占主導(dǎo)地位的前沿科技。由于它具有良好的發(fā)展前景，所以引起了國(guó)內(nèi)外研究者極大的熱情?？茖W(xué)家研究納米技術(shù)需要一系列的工具去認(rèn)識(shí)并改造納米世界，其中壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器以其優(yōu)良的性能得到了廣泛應(yīng)用。本項(xiàng)目依托國(guó)家自然科學(xué)基金重點(diǎn)項(xiàng)目“納米環(huán)境中機(jī)器人化操作的理論體系與實(shí)現(xiàn)方法”，研究設(shè)計(jì)了應(yīng)用在原子力顯微鏡(AFM)中壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器中Z方向的納米位移傳感器。實(shí)現(xiàn)了傳感器在壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器閉環(huán)控制中的作用，

2、消除了壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器存在的非線性等不足，提高了它的測(cè)量精度。
　　納米位移傳感器由兩部分構(gòu)成:信號(hào)的機(jī)械放大部分和信號(hào)的實(shí)時(shí)采集與處理部分。機(jī)械放大部分和采集部分經(jīng)過(guò)四代的改進(jìn)后傳感器的性能有了很大的提高，但是采集到的數(shù)字信號(hào)還包含模擬濾波消除的噪聲，還需要進(jìn)一步處理。本文旨在進(jìn)一步提高傳感器性能研究了以下內(nèi)容:
　　1.搭建實(shí)驗(yàn)平臺(tái)得到信號(hào)處理前的原始數(shù)字電壓信號(hào)。將微弱位移信號(hào)先經(jīng)過(guò)柔性鉸鏈機(jī)械放大，再通過(guò)粘貼在應(yīng)變體上

3、的電阻應(yīng)變片將位移信號(hào)轉(zhuǎn)換成電阻信號(hào)，接著經(jīng)由惠斯通電橋電路得到了電壓信號(hào)，再利用數(shù)據(jù)采集模塊將模擬電壓信號(hào)先后經(jīng)過(guò)放大、濾波、采樣處理，最后輸出數(shù)字電壓信號(hào)。
　　2.分析原始數(shù)字電壓信號(hào)的頻譜特性，確定濾波方式。首先得到信號(hào)的時(shí)域曲線，確定為時(shí)變信號(hào);再通過(guò)快速傅里葉變換工具得到信號(hào)的幅頻特性，發(fā)現(xiàn)信號(hào)為非平穩(wěn)信號(hào)而且有用成分主要集中在低頻部分。最后確定進(jìn)行數(shù)字濾波處理需處理信號(hào)的高頻部分。
　　3.確定了信號(hào)處理方法，

4、希爾伯特—黃變換（Hilbert-Huang transform，HHT）。首先從理論上比較了傅里葉變換，小波分析，HHT的優(yōu)缺點(diǎn)，根據(jù)信號(hào)特性選取了HHT作為信號(hào)處理方法;對(duì)HHT進(jìn)行了理論和仿真分析，從結(jié)果看HHT是一種完全自適應(yīng)的信號(hào)處理方法，它可以直接根據(jù)信號(hào)的本征特征將信號(hào)分解成多個(gè)從高頻到低頻的固有模態(tài)函數(shù)(Intrinsic Mode Function，IMF)，定性地對(duì)信號(hào)進(jìn)行分析。
　　4.應(yīng)用經(jīng)驗(yàn)?zāi)B(tài)分解(Em

5、pirical mode decomposition，EMD)對(duì)電壓信號(hào)進(jìn)行濾波，驗(yàn)證濾波的有效性。首先編寫(xiě)Matlab程序?qū)π盘?hào)進(jìn)行EMD分解，得到不同頻率的IMF;再通過(guò)選用兩種可能的濾波方法（將最高階IMF當(dāng)作噪聲，將最高階和次高階IMF當(dāng)作噪聲）對(duì)信號(hào)進(jìn)行濾波;對(duì)信號(hào)重構(gòu)后進(jìn)行線性擬合，對(duì)傳感器靜態(tài)性能進(jìn)行驗(yàn)證通過(guò)線性度擬合結(jié)果對(duì)比得出EMD分解能夠應(yīng)用于此傳感器的輸出信號(hào)并且改善傳感器的靜態(tài)性能。在輸入10nm，5nm，3nm