基于XML的MEMS材料數(shù)據(jù)庫設(shè)計與實現(xiàn).pdf_第1頁
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文檔簡介

1、本文首先針對當(dāng)今MEMS器件的結(jié)構(gòu)化設(shè)計方法,從系統(tǒng)的高度,論證了MEMSCAD對MEMS器件設(shè)計的必要性.綜合對比當(dāng)今大型MEMS CAD軟件,分析了MEMSCAD中的重要組成部分-材料數(shù)據(jù)庫在MEMS器件的設(shè)計綜合分析、加工和仿真、產(chǎn)品測試等不同階段的重要作用.其次,結(jié)合MEMS材料屬性數(shù)據(jù)的半結(jié)構(gòu)化和XML語言自描述性的特點,提出了用XML技術(shù)實現(xiàn)材料數(shù)據(jù)庫的設(shè)計,采用XML語言描述其數(shù)據(jù)文檔結(jié)構(gòu),進行了數(shù)據(jù)模式設(shè)計,并將這些文檔

2、作為數(shù)據(jù)庫的底層數(shù)據(jù).根據(jù)設(shè)計平臺的要求,確定了數(shù)據(jù)庫的用戶界面、數(shù)據(jù)操作、底層數(shù)據(jù)文檔的三層體系結(jié)構(gòu).同時確定用Tk(圖形用戶界面包)作為界面設(shè)計工具,用Tcl(工具命令語言)作為數(shù)據(jù)操作語言.最后,實現(xiàn)了數(shù)據(jù)庫數(shù)據(jù)的增加、修改、刪除等功能,并且有效的與實驗室平臺(MEMS GARDEN3.0)進行集成.收集了大量的實驗數(shù)據(jù),對數(shù)據(jù)進行了分類,確定了數(shù)據(jù)庫的數(shù)據(jù)內(nèi)容.數(shù)據(jù)庫大約保存了100多種材料的數(shù)據(jù)屬性,其中包含如SiO2、單晶硅

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