三自由度精密定位工作臺設計與制造工藝技術(shù).pdf

1、納米壓印光刻技術(shù)是應用于半導體芯片制造方法中最具有應用前景的技術(shù)之一，具有成本低，生產(chǎn)效率高的優(yōu)點。圍繞納米壓印光刻技術(shù)的研究得到了蓬勃的發(fā)展，其中精密定位工作臺定位技術(shù)的研究具有重要的理論意義和應用價值。精密定位工作臺是在納米壓印光刻設備中關(guān)鍵的核心部件，工作臺的定位精度直接影響光刻設備的圖形位移精度、套刻精度、對準精度、分辨率等的多項光刻技術(shù)參數(shù)，精密工作臺的質(zhì)量直接決定了壓印的精度和質(zhì)量。
　　依據(jù)改進的Delta機構(gòu)設計的

2、理論分析模型，在運動學和剛度仿真分析的基礎(chǔ)上，設計制造了用于納米壓印光刻系統(tǒng)，具有3個平動自由度的柔性并聯(lián)精密定位工作臺，該機構(gòu)由電壓控制器分別控制三個壓電陶瓷驅(qū)動器的加載電壓，驅(qū)動工作臺實現(xiàn)精密定位。
　　使用三坐標測量機對精密定位工作臺柔性鉸鏈的加工尺寸進行了精度檢測。數(shù)據(jù)表明工作臺的三個柔性鉸鏈的橢圓輪廓形狀和位置尺寸與理論值有誤差，對產(chǎn)生誤差的原因進行分析，提出了減小加工誤差的加工工藝改進方法。通過工作臺輸出特性實驗，得到