基于光刻機(jī)軟件系統(tǒng)的自動(dòng)化測(cè)試框架設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn).pdf

1、光刻機(jī)是光刻工藝中最重要的設(shè)備，是諸多現(xiàn)代科技高度集成的產(chǎn)物，這些技術(shù)包括：物理、光學(xué)、化學(xué)、材料科學(xué)、精密機(jī)械、精密控制、工程學(xué)、軟件工程學(xué)、計(jì)算機(jī)科學(xué)等等。光刻機(jī)的軟件部分作為光刻機(jī)的靈魂，其復(fù)雜程度遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過一般應(yīng)用軟件。要保證光刻機(jī)軟件可靠運(yùn)行就必須經(jīng)過大量的軟件測(cè)試。本文主要設(shè)計(jì)和實(shí)現(xiàn)了一個(gè)基于光刻機(jī)軟件系統(tǒng)的自動(dòng)化測(cè)試框架，是一種跨平臺(tái)的系統(tǒng)測(cè)試架構(gòu)體系，用于在windows平臺(tái)上測(cè)試位于其他各種平臺(tái)上運(yùn)行的使用C/C++語言

2、編寫的接口函數(shù)，并在光刻機(jī)軟件測(cè)試中取得了良好的應(yīng)用。
　　 本文首先介紹了光刻機(jī)軟件的系統(tǒng)架構(gòu)，并對(duì)光刻機(jī)軟件系統(tǒng)開發(fā)以及自動(dòng)化軟件測(cè)試的國(guó)內(nèi)外現(xiàn)狀進(jìn)行了說明。接著，闡述了自動(dòng)化測(cè)試的原理以及自動(dòng)化測(cè)試過程，并詳細(xì)分析了測(cè)試用例的設(shè)計(jì)原理和測(cè)試結(jié)果評(píng)估理論。之后，根據(jù)光刻機(jī)軟件系統(tǒng)的特點(diǎn)，對(duì)自動(dòng)化測(cè)試框架進(jìn)行了功能和性能的需求分析。在此基礎(chǔ)上完成了基于光刻機(jī)軟件系統(tǒng)的自動(dòng)化測(cè)試框架的設(shè)計(jì)和實(shí)現(xiàn)，包括了測(cè)試框架運(yùn)行平臺(tái)和開發(fā)工具