大相對(duì)口徑離軸非球面補(bǔ)償檢驗(yàn)技術(shù)研究.pdf

1、光學(xué)相機(jī)中離軸非球面的應(yīng)用有兩個(gè)主要優(yōu)點(diǎn)：一、增大視場；二、無中心遮攔。光學(xué)系統(tǒng)性能指標(biāo)的不斷提高，要求離軸非球面的相對(duì)口徑與離軸量都在不斷增大，而且面形精度也越來越高，相應(yīng)地其面形檢測(cè)精度也必然提高。本文針對(duì)大相對(duì)口徑離軸非球面的補(bǔ)償檢驗(yàn)，設(shè)計(jì)了由三片透鏡組成的補(bǔ)償器結(jié)構(gòu)，并對(duì)補(bǔ)償檢驗(yàn)系統(tǒng)的公差進(jìn)行分析和監(jiān)測(cè)，面向確定性修形加工解決了投影畸變的校正問題。以下三個(gè)部分是本論文的主要研究工作：
　　1、對(duì)高次非球面的非球面度進(jìn)行計(jì)算

2、分析，然后根據(jù)三級(jí)像差理論及幾何光學(xué)知識(shí)對(duì)補(bǔ)償器初始結(jié)構(gòu)進(jìn)行計(jì)算。以波像差為優(yōu)化目標(biāo)，利用 ZEMAX軟件對(duì)補(bǔ)償器參數(shù)進(jìn)行仿真優(yōu)化，優(yōu)化后的剩余像差能夠滿足精度要求。然后對(duì)補(bǔ)償器性能進(jìn)行分析，包括補(bǔ)償器鬼像分析以及參數(shù)公差分析等。最后，通過偏心儀、間隙儀、球徑儀等儀器完成補(bǔ)償器的裝調(diào)工作。
　　2、通過光學(xué)追跡方法計(jì)算失調(diào)量影響系統(tǒng)像差的靈敏度模型，反過來根據(jù)實(shí)際像差估計(jì)失調(diào)量，實(shí)現(xiàn)計(jì)算機(jī)輔助裝調(diào)。分析了離軸量約束條件下的計(jì)算機(jī)輔