白光干涉儀微位移平臺研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、精密運動平臺在現(xiàn)代精密機械和科學研究領域占有至關重要的地位，其加工的精度嚴重影響著定位精度。柔性鉸鏈是一種利用柔性結構本身來產生彈性變形，特點是重量輕、加工裝配時間短，可以減少機構的間隙和摩擦潤滑等問題。
　　本文結合長春光機所使用的美國NYGO公司生產的白光干涉儀new-view精密平臺現(xiàn)實中存在的問題，以精密微位移水平移動臺為研究對象，利用柔性鉸鏈結構對平臺的精密定位進行探討研究，并采用精密運動與粗運動平臺相結合的方式滿足平臺

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