基于干涉條紋特征分析的主軸回轉(zhuǎn)精度檢測方法研究.pdf

1、隨著超精密加工技術的高速發(fā)展，人們對于加工零部件的精度要求越來越高。主軸是機床的重要組成部分，機床主軸的回轉(zhuǎn)精度直接決定了加工零件的精度，因此主軸回轉(zhuǎn)精度的檢測成為一項極具挑戰(zhàn)的課題。此外，開展一種新的測量超精密主軸回轉(zhuǎn)精度的方法，對提高我國超精密加工設備主軸關鍵部件，以及超精密設備的研制開發(fā)具有重要意義。
　　本文首先系統(tǒng)的研究了國內(nèi)外學者提出的各種主軸回轉(zhuǎn)精度檢測方法，以及對主軸回轉(zhuǎn)誤差原理進行分析，提出了一種新的主軸回轉(zhuǎn)精度

2、檢測方法，即采用動態(tài)干涉儀測量主軸回轉(zhuǎn)誤差。搭建了動態(tài)干涉儀測量高精度伺服電機主軸回轉(zhuǎn)誤差的實驗平臺，通過分析干涉條紋的位移量從而計算出主軸回轉(zhuǎn)誤差。其次，對干涉條紋圖像特征進行深入研究，設計了干涉條紋圖像的實時采集系統(tǒng)。基于干涉條紋追蹤實現(xiàn)位移測量理論，獲取平面平晶在軸向方向的位移。再次，采用動態(tài)干涉儀采集平面平晶隨伺服電機主軸回轉(zhuǎn)過程中，不同相位的干涉條紋。通過對原始干涉條紋進行圖像處理，得到質(zhì)量較高的干涉條紋邊緣圖像。對原始干涉條