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1、脈沖激光沉積技術(shù)(Pulsed Laser Deposition簡稱PLD)自20世紀(jì)60年代世界上出現(xiàn)了第一臺紅寶石激光器起開始萌芽,一直比較緩慢地發(fā)展.直到1987年,高Tc超導(dǎo)氧化物薄膜在貝爾實驗室制備成功,PLD技術(shù)引起了人們的廣泛關(guān)注并迅速發(fā)展起來.這項技術(shù)較其他薄膜制備技術(shù)有激光能量高、薄膜的化學(xué)成分比與靶材一致、沉積速率高、基片溫度要求低等優(yōu)點,因此成功的制各了多種鐵電、壓電等功能薄膜材料.在PLD技術(shù)制備薄膜的過程中,會
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