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1、曲阜師范大學(xué)碩士學(xué)位論文鋁摻雜ZnO薄膜結(jié)構(gòu)與光學(xué)特性的研究姓名：孫方華申請學(xué)位級別：碩士專業(yè)：物理電子學(xué)指導(dǎo)教師：李清山20080401AbstractAbstractAl—dopedZnO(AZO)thinfilmshavehi曲conductivityandexhibitgoodopticaltransmittanceinvisiblewavelengthregion(400—700hm)comparedtoSndopedindi
2、umoxide(ITO)films，AZOfilmshavemanyproperties，suchaslowcost，nontoxicity，highchemicalstabilityunderhydrogenplasmaDuetotheseuniqueproperties，AZOfilmshavewideapplications，suchastransparentconductingelectrodesinsolarcells，lig
3、htemittingdiodesandlaserdiodesInthispaperaseriesofAZOfilmswerepreparedbyusingaKrFexcimerlaseratdifferentdepositedconditionThroughtheresearchofthestructuralandopticalpropertiesofAZOfilms，optimizedconditionsforgrowingAZOfi
4、lmswereobtained。TheresultssuggestedthathighqualityAZOfilmswithhighlycaxisorientationcouldbepreparedbyPLDBychangingdifferentdepositedconditionsomepointshavebeenobtained(1)TheAZOfilmswerepreparedatdifferentsubstratetempera
5、tureXRDresultssuggestedthatallsampleshavecaxisorientationasthesubstratetemperaturechangesfromI00“Cto500“CWimsubstratetemperatureincreasing，theFWHMofZnO(002)diffractionpeaksbecomenarrower。Thecrystallinityofthesamplesisimp
6、rovedTheAZOfilmsgrownat400。Chavethestrongest(002)diffractionpeaksandthebestcrystallinityWithfurtherincreasingofsubstratetemperature，Theintensityof(002)diffractionpeaksoftheAZOfilmsstartstobecomeweakWhenthesubstratetemper
7、atureis6000，wecans’tfind(002)diffractionpeaksintheXRDspectraofthepreparedAZOthinfilmsTherefore，highersubstratetemperaturedamagesthegrowthalongcaxisorientationandcrystallinityofAZOfilmsThesurfacemorphologyofthesampleisstr
8、onglyinfluencedbythesubstratetemperatureAsthesubstratetemperaturebecomeshigher，thecrystalgrainswillmoreeasilygatherandextendaroundtheislandswhichhadbeenformedatearliertime，SOthesurfaceofthesamplesgrownathighersubstratete
9、mperatureformsthestructure、以mlongerandthickerislandsThetransmittanceofAllofthesamplesgrownthroughthechangingofthesubstratetemperatureinthevisiblewavelengthregionisabove75％andthetransmittanceoftheAZOthinfilmsgrownat400。Ci
10、sthebest(2)TheAZOfilmswerepreparedatdifferentoxygenpartialpressureThefilmsgrownamongtheoxygenpressurefrom10mPato1PahavegoodcrystallinityAstheoxygenpartialpressureincreasesfurtherthegrainsofthesamplesbecomesmall，thecrysta
11、llinitydegradesandthetransmittanceinthevisiblewavelengthregiondecreasesThegrowthofAZOthinfilmsalongthecaxisisthebestandthefilmspreparedhavethebestcrystallinity，thebiggestgrainsandthehighesttransmittanceinthevisiblewavele
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