靜、動載荷下薄膜結(jié)構(gòu)屈曲行為的實驗研究.pdf

1、隨著材料薄膜技術(shù)的迅猛發(fā)展，膜層材料在許多工程領(lǐng)域中得到廣泛應(yīng)用，國內(nèi)外學(xué)者對沉積膜層的脫層與屈曲問題日益關(guān)注。在微納米機(jī)電系統(tǒng)器件中，脫層與屈曲是主要破壞形式，本文的主要工作就是研究和分析討論沉積在有機(jī)玻璃基底上的不同厚度的鈦薄膜和鎳薄膜，在外加軸向靜載荷和外加軸向沖擊載荷作用下的屈曲過程，這一工作對于其壽命預(yù)測具有重要意義。 在本文中，用OLYMPUS顯微鏡詳細(xì)觀測了薄膜表面在靜載荷施加過程中隨著載荷變化屈曲產(chǎn)生及擴(kuò)展的過程

2、，對同一試件進(jìn)行多次循環(huán)加卸載，得到了在重復(fù)載荷作用下薄膜表面屈曲產(chǎn)生及擴(kuò)展與施加載荷的關(guān)系，并分析了屈曲產(chǎn)生及擴(kuò)展的機(jī)理。對試件施加大的靜載荷，分析了所產(chǎn)生的屈曲的性質(zhì)及原因。另外，還對Ti/Ni多層膜施加靜載荷，觀察了屈曲的產(chǎn)生及擴(kuò)展，并與單層膜的實驗情況進(jìn)行了對比。 為了研究在軸向沖擊載荷作用下薄膜表面的屈曲行為，我們設(shè)計了落錘沖擊加載裝置和擺錘沖擊加載裝置。在實驗中，對不同厚度和不同材料的薄膜進(jìn)行了沖擊加載，為了得到?jīng)_擊