2023年全國(guó)碩士研究生考試考研英語(yǔ)一試題真題（含答案詳解+作文范文）_第1頁(yè)
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1、 本文采用X射線衍射分析(XRD)結(jié)合原子力顯微分析(AFM)及高分辨電子顯微分析方法(HRTEM)，研究了β-FeSi2薄膜的形成和生長(zhǎng)以及Fe/Si多層膜的結(jié)構(gòu)與互擴(kuò)散。采用離子束濺射Fe靶的方法在973 K的Si(111)襯底上得到厚度為500 nm的單相β-FeSi2薄膜，高分辨透射電鏡證實(shí)該β-FeSi2薄膜為局部外延且與Si襯底的界面明顯。采用離子束分別濺射Fe靶和Si靶的方法制備出4周期和10周期的[20 nmFe/64

2、 nmSi]多層膜，對(duì)多層膜在973 K真空退火60分鐘得到厚度分別為360 nm和850 nm的單相β-FeSi2薄膜。利用原位X射線衍射法進(jìn)行了Fe/Si多層膜的結(jié)構(gòu)和互擴(kuò)散研究，確定了調(diào)制波長(zhǎng)、平均成分和界面粗糙度等參數(shù)，確定出Fe/Si多層膜在低溫退火過(guò)程中的互擴(kuò)散系數(shù)為：DL(T)=4.53×10-22exp(-0.16eV/KBT)[m2/s](573 K～623 K)膜內(nèi)相對(duì)高密度的界面為擴(kuò)散原子提供了短程快擴(kuò)散通道，這是

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