太赫茲可調(diào)濾波器研究.pdf

1、太赫茲波具有諸多顯著的特性及其在各領(lǐng)域的廣泛應(yīng)用，特別地，太赫茲波以其在通信領(lǐng)域的得天獨厚的優(yōu)勢引起國內(nèi)外學(xué)者的廣泛研究。太赫茲可調(diào)濾波器作為關(guān)鍵無緣元件，是太赫茲可重構(gòu)通信系統(tǒng)的重要組成部分，廣泛應(yīng)用于太赫茲波段的調(diào)頻電臺、多功能接收機、電子對抗等方向，所以，研制高性能的太赫茲可調(diào)濾波器對于太赫茲通信領(lǐng)域的發(fā)展至關(guān)重要，這對我國發(fā)展太赫茲通信系統(tǒng)有著非常重要的意義。結(jié)合MEMS技術(shù)，采用多形式的熱電驅(qū)動微執(zhí)行器，設(shè)計新穎的調(diào)諧方案以實

2、現(xiàn)高性能的太赫茲可調(diào)濾波器是本文的研究重點。本文所做的工作和取得的主要研究成果為：
　　1．詳細闡述了微執(zhí)行器各驅(qū)動方式的基本原理和微執(zhí)行器設(shè)計要點，結(jié)合MEMS技術(shù)的最新發(fā)展，選擇了先進的PolyMUMs加工工藝。從濾波器綜合理論出發(fā)，推出了可調(diào)濾波器穩(wěn)定條件，并結(jié)合濾波器綜合理論，提出了 H面膜片耦合波導(dǎo)帶通濾波器快速設(shè)計方法。這些工作為后面的微執(zhí)行器設(shè)計和太赫茲可調(diào)濾波器設(shè)計奠定了理論基礎(chǔ)。
　　2．基于優(yōu)勢突出的熱驅(qū)

3、動方式，設(shè)計了可實現(xiàn)垂直于平面位移的蛇形級聯(lián)Bimorph微執(zhí)行器和可實現(xiàn)平行于平面位移的對稱U型梁微執(zhí)行器，采用Ansys軟件對其進行仿真優(yōu)化分析，最終完成版圖繪制、加工、裝配測試。Bimorph微執(zhí)行器的測試結(jié)果達到預(yù)期，U型梁微執(zhí)行器未測試出性能，并對其進行了詳細的原因分析。
　　3．首次提出了四種基于波導(dǎo)的可用于太赫茲波段的新穎的調(diào)諧方式，這幾種調(diào)諧方式都將盡量避免引入微執(zhí)行器影響作為設(shè)計前提，以期實現(xiàn)高性能。其中兩種調(diào)諧