表面微結(jié)構(gòu)對(duì)界面潤(rùn)濕特性的影響研究.pdf

1、液體在固體表面潤(rùn)濕性的研究是制備超疏水表面的理論基礎(chǔ)，因具有良好的應(yīng)用前景而受到廣泛的關(guān)注。目前，人們對(duì)固液接觸潤(rùn)濕性的研究多集中于微結(jié)構(gòu)參數(shù)變化對(duì)潤(rùn)濕狀態(tài)的影響，且沒有形成較為統(tǒng)一的理論方法。本文在考慮了接觸線線張力的基礎(chǔ)上，結(jié)合微結(jié)構(gòu)其他特征參數(shù)對(duì)固液接觸表面的潤(rùn)濕性進(jìn)行了研究。
　　本文首先分析了接觸線線張力在固液接觸潤(rùn)濕中的重要性，并提出了類圓度的概念，得出接觸線上線張力對(duì)固液接觸時(shí)能量變化的影響。對(duì)微結(jié)構(gòu)相關(guān)參數(shù)進(jìn)行研究

2、，得出參數(shù)變化對(duì)固液接觸時(shí)接觸角和潤(rùn)濕性轉(zhuǎn)變的影響規(guī)律。推導(dǎo)出考慮線張力的接觸角預(yù)測(cè)方程。
　　利用L-edit設(shè)計(jì)不同微結(jié)構(gòu)的形貌和尺寸用于光刻掩膜版的制作。利用等離子刻蝕機(jī)在硅表面加工所設(shè)計(jì)的形貌和特征尺寸，并在部分微結(jié)構(gòu)表面形成一層C4F8鈍化膜用以后續(xù)實(shí)驗(yàn)的對(duì)比分析。利用激光共聚焦顯微鏡對(duì)所加工表面的微結(jié)構(gòu)形貌和特征尺寸進(jìn)行觀察測(cè)量，為實(shí)驗(yàn)結(jié)果分析提供參考。
　　對(duì)所制備出的表面測(cè)景10μl液滴在其上的接觸角，發(fā)現(xiàn)微